1905年,法國工程師 Leon Creux 發(fā)明了渦旋壓縮機,而今渦旋泵被用作無油
真空泵。每臺渦旋泵都由兩個阿基米德螺旋件構(gòu)成,這兩個螺旋件彼此相對并
錯開180°,因此形成了若干個大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驅(qū)動的設(shè)
計,運動螺旋件相對于固定螺旋件是按確定軌道旋轉(zhuǎn),從而縮小了凹槽容積并
將氣體從外朝內(nèi)擠壓,實現(xiàn)抽氣功能。保持精確的制造公差并選擇合適材料對
于渦旋泵質(zhì)量十分重要。
客戶得益
- 無油
- 有效抽速高
- 極限壓強低
- 噪音低
- 振動低
- 容許入口為大氣壓
- 重量輕
- 風冷
- 功率消耗低
- 集成運行時間計時器
典型應(yīng)用
- 電子束焊接
- 激光器
- 檢漏系統(tǒng)
- 加速器/同步加速器
- 表面分析儀器
- 掃描電子顯微鏡
- 進樣室
- 光譜儀
- 照明
- 渦輪分子泵系統(tǒng)前級真空泵
維護周期
為了使泵性能保持不變,在運行了一定的小時數(shù)后,需要進行標準保養(yǎng)。
為此,我們提供了完整的保養(yǎng)套件-
運行了8000小時或遲在運行了12個月后使用的小保養(yǎng)套件-
運行了16000小時或遲在運行了24個月后使用的大保養(yǎng)套件