VHS-10 擴(kuò)散泵
VHS 系列泵具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多種尺寸，是當(dāng)今同尺寸擴(kuò)散泵中、最潔凈的產(chǎn)品。VHS 系列擁有的凸腔設(shè)計能使氣體捕集量翻倍，并且可以保持更低的壓力。所有 VHS 系列泵都配有油位觀察窗/注油和放油組件，便于連續(xù)監(jiān)測和對泵油的維護(hù)。鰭片式加熱盤設(shè)計增大了表面積，并延長了泵油的使用壽命。過熱保護(hù)開關(guān)和速冷盤管也是標(biāo)準(zhǔn)配置。4 英寸、6 英寸和 10 英寸泵可隨泵訂購 ASA 或 ISO 法蘭、標(biāo)準(zhǔn)或外延冷卻帽，還有多種電壓型號可選。
特性
可達(dá)到抽速。
油位觀察鏡可隨時快速指示泵油的狀況。
泵油注排組件
可提供 5100 瓦高氣載型。
分餾噴嘴可純化流體。
前級耐壓高。
過熱保護(hù)。
不銹鋼泵體
技術(shù)指標(biāo)
| 抽氣速率，工作范圍 抽氣速率，AVS4.1 (1963) | 3650 L/s 空氣，4560 L/s 氦氣/氫氣 5300 L/s 空氣 |
| 抽氣量 | 在工作范圍內(nèi)為 6.3 T L/s (8.4 mbar L/s)，0.01 torr 時為 7.5 T L/s (45 mbar L/s) |
| 操作范圍 | 4400 W 時，壓力為 1.7 x 10-3 到低于 5 x 10-9 torr（2.3 x 10-3 到低于 6.5 x 10-9 mbar） |
| 前級耐壓 | 無負(fù)載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.72 mbar) |
| 推薦前級泵 | ≥ 30 cfm (51 m3/h) |
| 返油率，標(biāo)準(zhǔn)冷卻帽 | 低于 5.0 x 10-4 mg/cm2/min |
| 預(yù)熱時間 | 15 分鐘 |
| 冷卻時間 | 25 分鐘 |
| 注油量 | 1000 cc |
| 電氣要求 | 3 相，50/60 Hz，208/240/380/480 VAC |
| 泵功率 | 4400 W |
| 冷卻水要求 | 0.40 gpm (80 L/hr) |
| 連接水冷 | 1/8 英寸 FPT 三通 |
