德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。該款測(cè)振儀可實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理。
德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。系統(tǒng)具有高靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來(lái)的發(fā)展需要。顯微式激光測(cè)振儀可提供準(zhǔn)確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開(kāi)發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計(jì)周期，簡(jiǎn)化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
集多功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站
實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理
的亞pm位移分辨率
測(cè)量速度快，振型可視化顯示
操作界面直觀友好
全自動(dòng)化測(cè)量，易于集成至商用探針臺(tái)上
德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀典型應(yīng)用：
微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)，測(cè)量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng)：
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開(kāi)關(guān)、FEM有限元模型驗(yàn)證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng)：
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)
微型結(jié)構(gòu)的表面形貌：
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
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德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀技術(shù)參數(shù)：
MSA-600系統(tǒng)配置 | |
基本配置 | 面外振動(dòng)*大頻率為2.5 MHz |
選配件 | |
頻率擴(kuò)展 | 面外振動(dòng)*大頻率達(dá)25 MHz |
差分測(cè)量 | 面外振動(dòng)可進(jìn)行差分測(cè)量 |
面內(nèi)運(yùn)動(dòng)分析 | 面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量 |
形貌測(cè)量 | 表面形貌測(cè)量 |
面外振動(dòng)測(cè)量 | ||
測(cè)量原理 | 激光多普勒原理 | |
型號(hào) | MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) | MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展) |
*大頻率 | 2.5 MHz | 25 MHz |
檔位數(shù)量 | 13 個(gè)速度檔位 | 13 個(gè)速度檔位 |
*大振動(dòng)速度 | 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) | 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) |
速度分辨率 均值1 | 0.005 (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān) | 0.005 (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān) |
位移分辨率 | 50 fm/√Hz | 50 fm/√Hz |
面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量 | ||
測(cè)量原理 | 頻閃法 | |
型號(hào) | MSA-600 帶面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量模塊 | |
帶寬 | 1 Hz … 2.5 MHz | |
*大速度 | > 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān)） | |
鏡頭放大倍數(shù)2 | 1x … 100x | |
位移分辨率3 | 5 nm | |
時(shí)間分辨率 | 100 ns (頻閃曝光時(shí)間); 頻閃*大間隔時(shí)間±40 ns | |
系統(tǒng)輸出 | 位移量、波特圖、階躍響應(yīng)、衰減曲線、軌跡圖等 | |
1、均值是根據(jù)所在檔位的*大頻率fmax計(jì)算而來(lái)。
2、 鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請(qǐng)見(jiàn)后附表格。
3、隔振臺(tái)上每個(gè)頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。
形貌測(cè)量 | ||
型號(hào) | MSA-600 帶形貌測(cè)量模塊 | |
垂直測(cè)量范圍 | 250 μm | |
標(biāo)稱樣本增量 | 80 nm | |
評(píng)估程序4 | 光滑表面 | 粗糙表面 |
分辨率(RMS) 5 | 45 pm | 1.2 nm |
單次測(cè)量分辨率(RMS) | 300 pm | 14 nm |
可重復(fù)精度6 | 500 pm | 20 nm |
評(píng)估平整度 偏差7 | < 5 nm | < 50 nm |
可溯源校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)(PTB Type A1 (ISO 5436-1) | ||
可重復(fù)精度8 | 0.07 % | |
擴(kuò)展不確定度9 | 0.35 % | |
4、“光滑表面”：自相關(guān)相位評(píng)估。“粗糙表面”自相關(guān)譜包絡(luò)線評(píng)估
5 、在阻尼振動(dòng)溫控條件下，對(duì)鍍銀、平行對(duì)齊平面鏡的50次幅值的均方根值。
6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差
7、 平面度的平均值（遵循ISO 1101）
8 、30次階躍高度測(cè)量的均方根偏差，校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm。
9、 在重復(fù)條件下，將30次連續(xù)測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值。
光學(xué)部分技術(shù)參數(shù) | |
MSA-I-600 光學(xué)頭 | |
激光波長(zhǎng) | 532 nm |
激光安全等級(jí) | class 3R (可見(jiàn)光輸出小于5 mW) |
照明光源波長(zhǎng) | 470 nm |
照明光源 安全等級(jí) | class 2 LED 燈(可見(jiàn)光輸出小于20 mW) |
攝像機(jī) | 全場(chǎng)逐行掃描 |
攝像機(jī)分辨率 | 1732 x 1200像素 |
攝像機(jī)幀速 | *大 56 fps |
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