ADT全自動(dòng)雙軸12寸切割機(jī)8230概要: |
ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的雙軸(對(duì)向)全自動(dòng)晶圓切割機(jī)。
切割工件尺寸可達(dá)12英寸。
ADT全自動(dòng)雙軸12寸切割機(jī)8230特點(diǎn): |
靈活性-支持3英寸刀片 |
支持1.8KW或2.2KW大功率主軸(適用于更高要求的切割) |
使用17英寸觸摸顯示屏,操作界面直觀 |
ADT全自動(dòng)雙軸12寸切割機(jī)8230其它重要特點(diǎn): |
切割效率高-大幅降低使用成本 |
空氣主軸 |
快速自動(dòng)對(duì)齊及切割定位,提高切割效率 |
高精度的自動(dòng)刀痕檢測及切割質(zhì)量分析 |
切割過程數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計(jì)分析 |
更換刀片時(shí)鎖定主軸,操作更快速、簡便 |
SECS/GEM通信標(biāo)準(zhǔn) |
機(jī)器維護(hù)時(shí)可觸及系統(tǒng)的任何區(qū)域,帶來維護(hù)的便利性 |
ADT全自動(dòng)雙軸12寸切割機(jī)8230規(guī)格: |
工作盤尺寸 | φ300mm | |||
X軸 | 切割范圍 | 310mm | ||
進(jìn)刀速度輸入范圍 | 0.1-600mm/s | |||
Y1&Y2軸 | 切割范圍 | 310mm | ||
單步步進(jìn)量 | 0.0001mm | |||
定位精度 | Within 0.002/310 mm (Single step accuracy)within 0.002/5 | |||
Z軸 | 行程 | 30mm(對(duì)應(yīng)2英寸刀片) | ||
移動(dòng)分辨率 | 0.0001mm | |||
重復(fù)精度 | 0.001mm | |||
θ軸 | 旋轉(zhuǎn)角度 | 380deg | ||
主軸 | 主軸類型 | 對(duì)向式雙主軸 | ||
額定扭矩 | 0.33(1.8kw)N.m | |||
回轉(zhuǎn)速 | 6,000 ~60,000(1.8KW)min-1 | |||
刀片尺寸 | 2" | |||
視覺系統(tǒng) | 1倍和8倍高清光學(xué)相機(jī) 相機(jī)光源:LED(直光 & 斜光) | |||
尺寸(W×D×H) | 1220 × 1550 × 1850 mm | |||
重量 | Approx 2000kg |