4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn): |
超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機(jī)械手GCR4000-AM系列 |
適用于支持300mm的半導(dǎo)體制造裝置內(nèi), 檢查裝置等的晶圓搬運(yùn) |
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:210mm, 280mm |
機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP |
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式 |
配備動(dòng)作監(jiān)視器 |
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī) |
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)玻璃基板 |
AC伺服電機(jī)的采用以及,對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化實(shí)現(xiàn)了搬運(yùn)動(dòng)作的高速化 |
比GHR4000類型速度快了1.8倍 |
晶圓固定方式:真空吸附式, 下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式 |
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維), 鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指 |
4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
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