5軸真空水平多關節(jié)型潔凈機械手臂特點: |
5軸真空水平多關節(jié)型潔凈機械手臂GTVCR5000系列 |
實現(xiàn)了下降價格,但是也可以維持以前的GTVHR5000系統(tǒng)的機能,功能 |
能夠在真空環(huán)境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局 |
通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸,有利于減小真空腔室的內(nèi)部容積 |
非常適合inline設備 |
機械手臂標準臂長:280mm, 330mm |
手臂關節(jié)處使用磁流體密封裝置 |
真空密封:磁流體密封裝置以及波紋管 |
提高潔凈度的方法:手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級過濾器 |
雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓 |
手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質 |
晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式,利用O型膠圈的摩擦力來保持位置 |
可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指 |
5軸真空水平多關節(jié)型潔凈機械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣:溫度 15°C-40°C |
工藝室溫度 | 450°C |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 635mm (手臂第3關節(jié)中心基準) |
升降軸行程 | 60mm |
可搬運質量 | 4kg (手臂第3關節(jié)處基準) |
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