小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂特點: |
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂SCR3100S系列 |
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運,通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸, 有利于實現(xiàn)設(shè)備的小型化 |
提高潔凈度的方法:手臂內(nèi)部排氣口安裝0.1µm級過濾器 |
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進(jìn)電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓 |
晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式 |
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
可以針對搬運物體,客戶設(shè)備布局的實際情況提供的手指 |
小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 195mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 200mm / 300mm |
可搬運質(zhì)量 | 0.5kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
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