該設(shè)備主要用于手機(jī)顯示模組及有關(guān)產(chǎn)品的觀察及尺寸測(cè)量。將工件放于顯微鏡下，使用不同的物鏡對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行觀察，對(duì)需要測(cè)量的位置使用帶光柵的高精密移動(dòng)平臺(tái)結(jié)合數(shù)據(jù)處理軟件進(jìn)行尺寸測(cè)量，使用數(shù)字相機(jī)進(jìn)行實(shí)時(shí)影像處理、觀察以及拍照，實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品的尺寸以及外觀檢查。

測(cè)量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測(cè)量?jī)x的 X、Y、Z 軸表面尺寸測(cè)量功能，具備明暗場(chǎng)、微分干涉、偏光等多種觀察功能?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、科研、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測(cè)。

全套設(shè)備由以下幾部分組成：

1、工具金相顯微鏡

2、定制測(cè)量軟件

3、630萬(wàn)像素USB3.0高速相機(jī)（3幀），可選12萬(wàn)（2幀）和2萬(wàn)像素（12.5幀）

4、外設(shè)（計(jì)算機(jī)）

技術(shù)參數(shù)

1、測(cè)量顯微鏡；

1）顯微鏡類型：工具金相顯微鏡;

2）放大倍數(shù)：放大50、100、200、500倍；可以選配1000倍

3）光源類型：5W白光LED燈；

4）視場(chǎng)數(shù)：22；

5）照明方式：反射光，科勒照明/透射光普通照明；

6）觀察方法：明場(chǎng)；

7）微分干涉：DIC微分干涉成像；（干涉片為選配）

8）物鏡轉(zhuǎn)盤：5孔明場(chǎng)物鏡轉(zhuǎn)盤；

9）物鏡類型：平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡；

10）載物臺(tái)結(jié)構(gòu)：三層機(jī)械結(jié)構(gòu)高精度移動(dòng)載物臺(tái)

11）測(cè)量行程：X軸300mm，Y軸200mm，Z軸200mm

2、測(cè)量軟件

1）實(shí)時(shí)影像觀察

2）實(shí)時(shí)圖像抓取

3）二維幾何尺寸測(cè)量

4）測(cè)量結(jié)果報(bào)表輸出

5）多分辨率切換

3、高精度載物臺(tái)

1）XY行程300X200mm，臺(tái)面450*350mm

2）平臺(tái)光柵顯示精度值0.5um，可以選配0.1um

3）傳動(dòng)方式：手動(dòng)

4、Z軸測(cè)量準(zhǔn)確度

1）Z軸光柵顯示精度值0.5um（可以選配0.1um），測(cè)量精度在3-5um

2）傳動(dòng)方式：手動(dòng)