產(chǎn)品特色
● 準(zhǔn)確。流量校準(zhǔn)具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。
● 高效。只要您打開62Q系列便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)，便能顯示您所選工藝設(shè)備中的實(shí)時(shí)流量、壓力和溫度讀數(shù)。
● 耐用。62Q系列便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)專為方便攜帶而設(shè)計(jì)，而且能夠抵抗墜落帶來的影響。
精度升級
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取值）
測量范圍 0.1 ~ 99%滿量程
重復(fù)性 ± 0.1%滿量程
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM（）
測量范圍 2～99%滿量程
顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± 2 % 滿量程 精度升級見上段
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2%滿量程
質(zhì)量流量溫度漂移 0.02%滿量程當(dāng)溫度從25 ℃起每變化1 ℃
質(zhì)量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于10 ms
預(yù)熱時(shí)間 < 1 s
標(biāo)定工況 25℃ & 1 Atm（可現(xiàn)場在測量范圍內(nèi)隨意更改）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選低溫選項(xiàng)）
溫度精度 ± 0.75℃
充電溫度 0 ～ 45 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 2MPa表壓，進(jìn)出口允許瞬時(shí)壓差500 KPa
操作壓力 80 KPa絕壓
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.07 PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@19200波特率
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸出信號 Micro-USB B（40 Hz at 19200 baud）
供電電壓 5 VDC （Micro - USB - B）
電氣接口 Micro-USB-B
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
續(xù)航時(shí)間 黑白屏 18小時(shí)，彩屏 5小時(shí)
材 質(zhì) 303 & 302 不銹鋼， Viton®，硅橡膠，增強(qiáng)型玻璃，熱固性環(huán)氧樹脂，鋁，硅，金，玻璃。（可選主體鋁材質(zhì)）
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護(hù)等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
