CMI760孔銅面銅測(cè)厚儀膜厚儀
CMI760孔銅面銅測(cè)厚儀膜厚儀是臺(tái)式專(zhuān)用銅厚測(cè)試儀CMI760有三種不同類(lèi)型探頭，多種探頭的兼容使其滿足了包括表面銅、穿孔內(nèi)銅和微孔內(nèi)銅厚度的測(cè)量、以及孔內(nèi)銅質(zhì)量測(cè)試的多種應(yīng)用需求。
CMI760孔銅面銅測(cè)厚儀膜厚儀儀器探頭參數(shù)：
SRP-4面銅探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù)：
銅厚測(cè)量范圍：
化學(xué)銅：10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)
電鍍銅：0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)
線形銅可測(cè)試線寬范圍：8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)
準(zhǔn)確度：±1% (±0.1 μm)參考標(biāo)準(zhǔn)片
精確度：化學(xué)銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.2 %；電鍍銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.5 %
分辨率：0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil,
0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm
ETP孔銅探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù)：
可測(cè)試最小孔直徑：35 mils (899 μm)
測(cè)量厚度范圍：0.08 – 4.0 mils (2 – 102 μm)
電渦流原理：遵守ASTM-E376-96標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定
準(zhǔn)確度：±0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)
精確度：1.2 mil（30μm）時(shí)，達(dá)到1.0% （實(shí)驗(yàn)室情況下）
分辨率：0.01 mils (0.1μm)
TRP-M（微孔）探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù)：
最小可測(cè)試孔直徑范圍：10 – 40 mils (254 – 1016 μm)
孔內(nèi)銅厚測(cè)試范圍：0.5-2.5mils（12.7-63.5μm）
可測(cè)試板厚：175mil （4445 μm）
最小可測(cè)試板厚：板厚的最小值必須比所對(duì)應(yīng)測(cè)試線路板的最小孔孔徑值高3mils(76.2μm)
準(zhǔn)確度（對(duì)比金相檢測(cè)法）：±0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)
±10%≥1mil(25 μm)
精確度：不建議對(duì)同一孔進(jìn)行多次測(cè)試
分辨率：0.01 mil(0.1 μm)
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