全自動氦質(zhì)譜檢漏儀
JL-142W(D)型是一款液晶觸摸
彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。主
要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)
芯的制造借鑒技術(shù)，整機(jī)設(shè)
置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，
反應(yīng)快，開機(jī)時間短等特點。檢漏效
果達(dá)到水平。
主要技術(shù)指標(biāo)
1、真空模式小可檢漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）
真空模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s
2、吸槍模式小可檢漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）
吸槍模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s
3、啟動時間：≤3min
4、響應(yīng)時間：≤0.5s
5、檢漏口的壓力：1500Pa
6、電源要求：220v，50Hz，單相，10A
7、工作環(huán)境：5-35℃
9、相對濕度：≤80%
9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）
10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg
主要配置
1、德國普發(fā)檢漏儀分子泵（*）
2、W 為油式機(jī)械泵，D 為干式機(jī)械泵
3、定制檢漏儀電磁閥
4、閥體
5、原裝晶圓放大器
6、采用質(zhì)譜模塊
7、液晶觸摸彩屏
8、雙燈絲（氧化釔金絲），自動調(diào)氦峰，自動切換
