高性能電子光學(xué)系統(tǒng)
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)*
高靈敏度: 高效PD-BSD, 的低加速電壓性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析
壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)*
開倉(cāng)室快速簡(jiǎn)單換樣(**樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等