tcwafer晶圓測(cè)試儀熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布；同時(shí)，也可利用此傳感器來(lái)持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過(guò)程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）
溫度范圍：
低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）
高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計(jì)）
熱電偶選型：
● Type K (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級(jí)別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級(jí)別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級(jí)別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C
晶圓材質(zhì)：
硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底?？砂纯蛻粢蠖ㄖ苹?、形狀和尺寸。
主要規(guī)格：
4寸，6寸，8寸，12寸
擴(kuò)展線：可選絕緣層材質(zhì)，接頭類(lèi)型。密封的扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長(zhǎng)度由客戶選
傳感器引線：長(zhǎng)達(dá)40英尺–可定制,
被覆材質(zhì)：石英 陶瓷纖維 TEF
絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺
線規(guī)：20 AWG – 40 AWG
a）主要型號(hào)有k/t/r(根據(jù)測(cè)溫范圍以及精度要求選型)
k型適合：0°c -600°c，精度級(jí)別為±1.1°c or ±0.4%
t型適合：200°c以下，精度級(jí)別為±0.5°c or ±0.4%
r型適合：0°c-1100°c，精度級(jí)別為0.1%
b)產(chǎn)品主要規(guī)格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
c)溫接點(diǎn)可生產(chǎn)1~24點(diǎn)（但硅片越小測(cè)溫點(diǎn)盡量減少，因?yàn)楹更c(diǎn)需要打孔存在應(yīng)力，另外需要排線，測(cè)溫點(diǎn)越多難度越高）
d)使用環(huán)境為普通或者真空環(huán)境
e）晶圓材質(zhì)：硅片或藍(lán)寶石襯底片
tcwafer晶圓測(cè)試儀熱電偶
菘啟工業(yè)有限公司是中國(guó)臺(tái)灣溫度傳感器制造公司，于2002年在珠三角地區(qū)設(shè)立的服務(wù)據(jù)點(diǎn)松揚(yáng)溫控。菘啟工業(yè)有限公司在1995年2月于臺(tái)北成立，擁有：”BS EN ISO 9001:2000 品質(zhì)認(rèn)證”，”ISC/IEC GODE25 溫度實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證”，”UL IEC 17025 二級(jí)溫度實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證”等三大認(rèn)證。以其的設(shè)備，專(zhuān)業(yè)的知識(shí)，的技術(shù)，已為國(guó)內(nèi)外廣大客戶提供溫度傳感控制方面的解決方案。菘啟工業(yè)有限公司多次參與中國(guó)傳感器協(xié)會(huì)會(huì)議，并于會(huì)中針對(duì)溫度傳感技術(shù)發(fā)表專(zhuān)題研討。不斷的創(chuàng)新與對(duì)品質(zhì)一貫的堅(jiān)持，是我們宗旨。期望能為廣大客戶提供優(yōu)良，高質(zhì)的服務(wù)。
菘啟工業(yè)有限公司——是溫度測(cè)量控制產(chǎn)品及高溫材料供應(yīng)商，產(chǎn)品應(yīng)用于航太、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、LED、石油化工也、汽車(chē)工業(yè)、食品業(yè)等高科技產(chǎn)業(yè)及傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)。公司依托中國(guó)臺(tái)灣總公司的強(qiáng)大研發(fā)、校驗(yàn)?zāi)芰?；東莞的生產(chǎn)基地以及昆山的技術(shù)服務(wù)與支持，現(xiàn)已形成全方面的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、開(kāi)發(fā)、制造、校驗(yàn)的系統(tǒng)方案提供商。
公司始終堅(jiān)持為客戶創(chuàng)造更多價(jià)值；提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品；細(xì)致專(zhuān)業(yè)的服務(wù)，讓THERMOWAY品牌獲得業(yè)界更多的認(rèn)同及尊重
THERMOWAY RTD WAFER 專(zhuān)為需要高精度溫度測(cè)量的製程所 設(shè)計(jì)，例如半導(dǎo)體光阻劑處理系統(tǒng)、晶圓探測(cè)器和許多其他類(lèi)型 的半導(dǎo)體製造設(shè)備。 透過(guò)研發(fā)團(tuán)隊(duì)精心整合設(shè)計(jì)帶來(lái)高量測(cè)精度和結(jié)果穩(wěn)定性， WAFER 上的 RTD 傳感器，黏合及封裝材料，四線式電阻測(cè)量 方式是關(guān)鍵的集成元件。
Features l 工作溫度範(fàn)圍： -80°C to 300°C l 溫度點(diǎn)位： 1 to 160 points l 提供校正服務(wù) l 提供應(yīng)用軟體及分析系統(tǒng)
Applications l 測(cè)量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩(wěn)定狀態(tài)、冷卻和卸載。 l 提升對(duì)溫度的控制及?致性。 l 管理具有嚴(yán)格熱性能規(guī)格的生產(chǎn)流程或?yàn)?/span> SPC 系統(tǒng)提供數(shù)據(jù)。 l 在硬體或製程研發(fā)期間優(yōu)化晶圓工藝。 l 在最終鑑定、晶圓廠啟動(dòng)以及修復(fù)或升級(jí)系統(tǒng)的重新鑑定過(guò)程中對(duì)晶圓廠設(shè)備進(jìn)行測(cè)試和基準(zhǔn)測(cè)試。
