MU-系列
在同一類中，它是羅茨式干式真空泵，它實(shí)現(xiàn)了世界上*節(jié)能和*節(jié)省的占地面積。
它可以包含在任何制造設(shè)備中。
適用于清潔排氣過(guò)程，如負(fù)載鎖定和傳輸室。
值得信賴的真空技術(shù)。 一個(gè)多樣化的產(chǎn)品組，具有的動(dòng)力。
Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶的廣泛信賴，包括半導(dǎo)體和液晶制造領(lǐng)域。
我們多年來(lái)培養(yǎng)
| 仕様 / 型式 | MU100P/H | MU180P/H | MU300P/H | MU600P/H | MU1218P/H | MU20N18P/H | MU30N18P/H |
| 排気速度[L/min] *2 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 |
| 到達(dá)圧力[Pa] *2 | 3.0 | 5.0 | 0.5 | ||||
| 電源電圧(50/60Hz) | 3相 AC200～220V *3 | ||||||
| 消費(fèi)電力[kW] *4 | 0.7 | 1.0 | 0.9 | 0.95 | 1.4 | 1.5 | 1.6 |
| 外観寸法 [mm] L×W×H *5 | 630×350×360 | 715×360×408 | 630×350×520 | 870×380×751 | 1000×450×950 | ||
| 質(zhì)量 [kg] | 70 | 130 | 110 | 130 | 280 | 410 | 410 |
