臥式6寸兩管擴(kuò)散爐供大規(guī)模集成電路、MEMS 生產(chǎn)線用做6"硅片的合金、氧化、退火、燒結(jié)、擴(kuò)散等工藝使用。臥式6寸兩管擴(kuò)散爐同時(shí)也可下沉工藝，完成4寸wafer 的相應(yīng)工藝。
一、設(shè)備結(jié)構(gòu):
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求
4、自動(dòng)化程度:工控機(jī)控制系統(tǒng)自動(dòng)控制工藝流程
5、送取片方式:手動(dòng)進(jìn)出舟。
6、外形:主機(jī)1臺(tái)，主機(jī)架為臥式兩管。
二、主要技術(shù)參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍: 上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機(jī)統(tǒng)一管理工藝
5、氣路設(shè)置:每管兩路氣體:氮?dú)?00L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動(dòng)控制流量大小。晨立公司擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)。自成立以來，堅(jiān)持產(chǎn)品設(shè)計(jì)和服務(wù)質(zhì)量共同發(fā)展，積極進(jìn)取，精益求精，不斷提高產(chǎn)品核心競(jìng)爭(zhēng)力。公司產(chǎn)品擁有自主產(chǎn)權(quán)。已擁有2項(xiàng)實(shí)用新型zhuanli，2項(xiàng)發(fā)明zhuanli正在申請(qǐng)中。有5名中、高級(jí)職稱的工程師組成專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，從事熱工行業(yè)近20年之久，有豐富的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)。
公司本著和諧、共贏，以“質(zhì)量求發(fā)展、以誠(chéng)信為根本、以客戶為中心、以用戶滿意”為最終目標(biāo)的企業(yè)方針，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，優(yōu)良的服務(wù)。
