儀器介紹：
UVISEL2是一款革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經(jīng)典機(jī)型UVISEL的高準(zhǔn)確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術(shù)特點(diǎn)的同時，配備革新的可視系統(tǒng)，多達(dá)8個尺寸微光斑選項，最小達(dá)35×85μm2，適用于所有薄膜材料研究領(lǐng)域。是目前市場上無二的機(jī)型。
技術(shù)參數(shù)：
·光譜范圍：190-2100 nm
·8種光斑尺寸: 最小35 X 85 um
·探測器：3個獨(dú)立探測器，分別優(yōu)化紫外，可見和近紅外
·自動樣品臺尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·樣品水平度自動調(diào)整
·自動量角器：變角范圍35°- 90°，全自動調(diào)整，最小步長0.01°
主要特點(diǎn)：
·自動化設(shè)計，自動對焦、校正
·全新光路、電路設(shè)計，測量精度更高，速度更快
·50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運(yùn)動部件
·雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高
·8個尺寸微光斑，可視技術(shù)
·自動平臺樣品掃描成像
