LuphoScan高速光學(xué)非球面3D測(cè)量系統(tǒng)
LuphoScan 260/420 HD測(cè)量臺(tái)開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計(jì)量的新領(lǐng)域,能夠測(cè)量物件角度大至90°度,測(cè)量精度高于±50 nm (3σ) 。測(cè)量結(jié)果有著的重復(fù)性且低噪音。
可測(cè)量坡度的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機(jī)鏡頭模具??焖俚?、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測(cè)量。
物件坡度高至90°度,是測(cè)量大的、陡峭的和極小的非球面鏡頭(如手機(jī)鏡頭模具)的理想選擇。
Power和PV測(cè)定參數(shù)的穩(wěn)定性。