優(yōu)勢特點:
精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點,其操作使用方便、可任意位置安裝、并便于于計算機連接實現(xiàn)自動控制。
規(guī)格參數(shù):
1)流量規(guī)格:(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10)SLM
2)準確度:±1.5 %F.S
3)線性:±1 %F.S
4)重復精度:±0.2 %F.S
5)響應時間:電特性:10sec 氣特性:≤4sec
6)工作壓差范圍:(0.1~0.5)MPa
7)耐壓:3MPa
8)工作環(huán)境溫度:5℃~45℃
9)輸入輸出型號:0V~+5.00V
10)電源:+15V 50mA -15V 200mA
11)重量:1.1kg