石英材質(zhì)衍射相位光柵，線寬精度±0.2um，深度精度≤20nm
光學(xué)相位光柵通過光刻技術(shù)制造，有很多種分類，應(yīng)用也相當(dāng)廣泛，主要應(yīng)用的還是用于衍射分光和脈沖壓縮。維爾克斯光電生產(chǎn)的本款光柵為相位光柵，即利用光的干涉來分光的衍射光柵，分為反射型或投射性，入射面為平面，線寬精度±0.2um，深度精度≤20nm
位相光柵規(guī)格型號表：（光柵的銷售方式一般為定制，起訂量10片，更多詳情，請聯(lián)系我們。）
| 產(chǎn)品型號 | 周期 | 線寬 | 線對數(shù) | 光柵方向 | 外形尺寸 | 厚度 | 材質(zhì) | 設(shè)計中心波長 | 位相深度 |
| MGGP-001 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于邊 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
| MGGP-002 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于邊 | 20×20 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
| MGGP-003 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于邊 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.808μm | 0.891μm |
| MGGP-004 | 50.0μm | 25.0μm | 20 | 平行于邊 | 20×20 | 1 | 石英 | 0.808μm | 0.891μm |
| MGGP-005 | 25.0μm | 12.5μm | 40 | 平行于邊 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.98μm | 1.087μm |
| MGGP-006 | 10.0μm | 5.0μm | 100 | 平行于邊 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.98μm | 1.087μm |
| MGGP-007 | 100.0μm | 50.0μm | 10 | 平行于邊 | 10×10 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
| MGGP-008 | 100.0μm | 50.0μm | 10 | 平行于邊 | 20×20 | 1 | 石英 | 0.65μm | 0.712μm |
衍射光柵的種類很多，分為振幅光柵和相位光柵，還可分為反射光柵和透射光柵，平面光柵和凹面光柵等。此文講述的光學(xué)光柵是反射/透射型，鋸齒型/臺階型相位光柵，具有精度高，應(yīng)用廣以及可定制等特點。
位相光柵，英文名Phase Grating，是一種利用光的干涉來分光的光學(xué)元件，當(dāng)光波通過光柵后，振幅并沒有變化，但是相位有周期性的變化，從而改變光柵的衍射。其中，透射光柵是相位光柵中的一個分類，通常用于激光束分離和可見光多波長激光光譜分離，而且透射光束會衍射成多個不同級次。衍射相位光柵主要是分光，是通過透射或反射光的相位差實現(xiàn)調(diào)制和分離的，線寬精度和深度精度分別是±0.2um和≤20nm，通過光刻技術(shù)制作，主要應(yīng)用于衍射分光和脈沖壓縮等應(yīng)用。維爾克斯光電的高精度光柵是一個非常不錯的選擇，如圖1，有鋸齒型和臺階型的光柵供用戶選擇，而且還可根據(jù)用戶的應(yīng)用需求定制合適的精密光柵。
圖1：鋸齒型和臺階型平面圖示
衍射相位光柵的特點：
- 高精度
- 應(yīng)用范圍廣
- 具有反射/透射型光柵
- 利用光刻技術(shù)制作
- 線寬精度±0.2um，深度精度≤20nm
衍射相位光柵的應(yīng)用：
- 機器視覺
- 摩爾條紋
- 衍射分光
- 激光檢測
- 脈沖壓縮
- 光通信、光存儲、光學(xué)成像等
圖2：相位光柵示意圖
