2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元(SMU),具有迄今為止的功率、 精度、速度、靈活性和易用性,能夠大大提高研發(fā)、生產(chǎn)測試和可靠性環(huán)境的測試效 率。2657A是專門針對(duì)高壓電子和功率半導(dǎo)體器件的特征分析與測試而設(shè)計(jì)的,例如 二極管、FET和IGBT,以及其它一些需要高電壓、快速響應(yīng)和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時(shí)利功率半導(dǎo)體特征分析和測試解決方案的2600A系列產(chǎn)品,具 有業(yè)界的功率和的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業(yè)界大的參數(shù)式特征分析軟件平臺(tái),能夠隨著用戶應(yīng)用的發(fā)展進(jìn)行升級(jí)。
2657A與其它2600A系列數(shù)字源表一樣,具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負(fù)載, 并配置了精密電壓和電流計(jì)。它可以用作:
? 半導(dǎo)體特征分析儀? 電壓或電流波形發(fā)生器
? 電壓或電流脈沖發(fā)生器
? 支持電壓和電流讀回的精密電源
? 真電流源
? 數(shù)字萬用表(DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源)
? 精密電子負(fù)載
2657A能夠提供或吸收高達(dá)3000V@20mA或1500V@120mA的電源
主要特性:
? 提供或吸收高達(dá)180W的直流或脈沖電 源(±3000V@20mA,±1500V@120mA)
? 1fA低電流分辨率
? 用于高精度和高速瞬態(tài)捕獲的雙22位 精度ADC和每點(diǎn)雙18位1μs數(shù)字轉(zhuǎn)換器
? 易于與其它2600A數(shù)字源表進(jìn)行系統(tǒng)集 成的全TSP®兼容能力
? 單臺(tái)儀器內(nèi)集成了精密電源、電流 源、DMM、任意波形發(fā)生器、電壓或電 流脈沖發(fā)生器、電子18位負(fù)載和觸發(fā) 控制器
? 內(nèi)含TSP® Express特征分析軟 件、LabVIEW ®驅(qū)動(dòng)和吉時(shí)利的Test Script Builder軟件開發(fā)環(huán)
典型應(yīng)用:
? 功率半導(dǎo)體器件特征分析與測試
? GaN、SiC和其它一些復(fù)合材料與器件 的特征分析
? 高達(dá)3kV的擊穿與漏流測試
? 亞毫秒瞬態(tài)特征分析
兩種測量模式:數(shù)字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式,可以對(duì)器件的瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)特性進(jìn)行精確的特征分析,包括快 速改變熱效應(yīng)。每種模式是由其獨(dú)立的模數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器決定的。
數(shù)字式測量模式能夠?qū)崿F(xiàn)高達(dá)1μs的采樣速度。利用其雙18位數(shù)字轉(zhuǎn)換器能夠同時(shí)捕獲 電壓和電流瞬態(tài)。在積分式測量模式下,利用其雙22位積分式模數(shù)轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)更精 確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個(gè)A/D轉(zhuǎn)換器,一個(gè)用于電流,另一個(gè)用于 電壓,兩個(gè)轉(zhuǎn)換器同時(shí)工作可以實(shí)現(xiàn)精確的電源讀回,且不影響測試產(chǎn)能。
雙高速A/D轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)每點(diǎn)1μs的采樣速度,支持電壓和電流的全同時(shí)特征分析。
擴(kuò)展功能
通過TSP-Link®技術(shù),2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起,構(gòu)成更大的具有 32個(gè)節(jié)點(diǎn)的集成式系統(tǒng)。內(nèi)置的500ns觸發(fā)控制器能夠確保精確定時(shí)與緊密通道同步功 能。利用隔離且獨(dú)立的數(shù)字源表通道可以進(jìn)行真正的每pin腳SMU測試。
高功率器件測試夾具
8010高功率器件測試夾具能夠?yàn)楦哌_(dá)3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個(gè)高壓數(shù)字源表(2657A)、一個(gè)或兩個(gè)高電流數(shù)字源表 (2651A)、三個(gè)低功率數(shù)字源表(其它2600A系列或4200-SCS SMU)。利用這一功能,就可以 安全而準(zhǔn)確地對(duì)雙端(二極管)、三端(晶體管)甚至四端或五端器件進(jìn)行特征分析。8010具 有全互鎖功能最多可支持六臺(tái)數(shù)字源表。8010集成了保護(hù)電路,能夠保護(hù)低壓數(shù)字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內(nèi)含高電流(100A)和高電壓(3000V)測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口,包括TO-247、TO-220、軸心線,以及可以構(gòu)建自定義接口的一個(gè) 空接口模塊。除了標(biāo)準(zhǔn)的香蕉跳線,8010還具有背板指示器和熱探針端口,可簡化系統(tǒng)集成。
2600A系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)功能
2每臺(tái)2657A都具有其它2600A系列數(shù)字源 表所具有的特性和功能:
? 使用靈活,可用作臺(tái)式I-V特征 分析工具,也可以作為多通道I-V 測試系統(tǒng)的組成模塊;
? TSP Express軟件,無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執(zhí) 行常用的I-V測試。
? 用于半導(dǎo)體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件(可選)。ACS Basic Edition現(xiàn)在提供了“Trace” 模式,可產(chǎn)生一套特征曲線。
? 吉時(shí)利的Test Script Processor (TSP)技術(shù)支持創(chuàng)建并運(yùn)行自定義 的用戶測試腳本,用于實(shí)現(xiàn)高速自 動(dòng)化測試,以及創(chuàng)建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進(jìn)行 異步操作的程序序列。
? 當(dāng)系統(tǒng)中多臺(tái)2600A系列儀器 連接在一起時(shí),具有并行測試 執(zhí)行和精確定時(shí)功能。 ? 兼容LXI Class C。
? 14位數(shù)字I/O線,用于直接連接探針 臺(tái)、元件機(jī)械手或其它自動(dòng)化工具。
? USB端口,用于通過USB存儲(chǔ)器保存額 外的數(shù)據(jù)和測試程序。
8010型高功率器件測試夾具。
2657A背板