| 晶元半導(dǎo)體臺(tái)階測(cè)高顯微鏡介紹
VMM測(cè)量顯微鏡系列是觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
特點(diǎn)
● 視場寬闊，可得清晰無閃爍正像
● 高精度測(cè)量，同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度，適用于各種測(cè)量
● 可選用高NA物鏡，滿足長工作距離的測(cè)量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無衍射觀察測(cè)量
● 各類尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
觀察成像 | |  | | 偏光觀察
觀察過濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。 | 微分干涉對(duì)比觀察
在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。 | |  |  | | 暗視場觀察
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對(duì)比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。 | 亮視場觀察
最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
| 新功能增強(qiáng)Z軸測(cè)量精度
● 輔助對(duì)焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到。
 |  |  | | 對(duì)焦 | 前端對(duì)焦 | 后端對(duì)焦 | 規(guī)格
● 無限遠(yuǎn)系統(tǒng)，管鏡200mm
● 傾斜角度30°，瞳孔距離55-75mm，正像
● 高眼點(diǎn)，大視場WF10/22
● 鼻輪螺紋M26X0.706
● Z軸的長度180mm，微動(dòng)精度0.002mm，測(cè)量精度（at20℃），XY-軸的（2.5+0.02L）um，L=測(cè)量長度（mm）在沒有放物體分辨率為0.001mm
● 12V50W反射鹵素?zé)?
● 3W高亮度LED光源
● 可配置輔助調(diào)焦裝置（FA） 技術(shù)參數(shù) | 型號(hào) | VMM-8Ⅰ型 | VMM-8Ⅱ型 | VMM-8 Ⅲ型 | VMM-8
Ⅳ型 | VMM-12Ⅰ型 | VMM-12Ⅱ型 | VMM-12Ⅲ型 | VMM-12
Ⅳ型 | | 鏡筒 | 1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口 | | 觀察圖像 | 正像 | | 觀測(cè)方法 | 輔助對(duì)焦系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | | 微分干涉對(duì)比 | 可選微分觀測(cè)對(duì)比 | | 目鏡 | 10X(視場直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場直徑：22mm | | 物鏡(100x選配) | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm 5x,
10x,20x,
50x | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm
5x,
10x,20x,
50x | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm 5x,
10x,20x,
50x | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm
5x,
10x,20x,
50x | | 照明裝置 | 反射照明 | 內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明 | | 透射照明 | 白色LED照明，無極亮度調(diào)節(jié) | | 工作臺(tái) | XY測(cè)量范圍 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 300*200 | 300*200 | 300*200 | 300*200 | | 快速釋放裝置 | X軸和Y軸（標(biāo)配） | | 調(diào)零開關(guān) | X軸和Y軸（標(biāo)配） | | 數(shù)顯計(jì)器 | 顯示軸 | 2軸或3軸 | | 分辯率 | 0.0005mm（可選0.00002mm） | |
|  |  | | VMM-8-Ⅰ型主圖 | VMM-8-Ⅱ型主圖 | |  |  | | VMM-8-Ⅲ型FA主圖 | VMM-8-Ⅳ型FA主圖 | | |  | | VMM-12-Ⅰ型主圖-95mm | VMM-12-Ⅱ型主圖-60mm | |  |  | | VMM-12-Ⅲ型FA主圖-95mm | VMM-12-Ⅳ型FA主圖-60mm | 介紹
95MM金相長工作距離明場物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑焦距200mm
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù) | 平場復(fù)消色差M PLAN APO L | 數(shù)值孔徑N.A. | 工作距離W.D. | 焦距f | 景深D.F. | 分辨率R | 視場 | | 目鏡(WF10/24) | 1/2"CCD攝像頭 | | 2X | 0.055 | 34.6 | 100 | 91μ | 5μ | Φ12 | 2.4x3.2 | | 5X | 0.14 | 45 | 40 | 14μ | 2μ | Φ4.8 | 0.96x1.28 | | 10X | 0.28 | 34 | 20 | 3.5μ | 1μ | Φ2.4 | 0.48x0.64 | | 20X | 0.29 | 30.8 | 10 | 3.5μ | 1μ | Φ1.2 | 0.24x0.32 | | 50X | 0.42 | 20.5 | 4 | 1.6μ | 0.7μ | Φ0.45 | 0.10x0.13 | | 100X | 0.55 | 12.5 | 2 | 0.9μ | 0.5μ | Φ0.24 | 0.05x0.06 | 介紹
60MM金相平場半復(fù)消色差物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù) | 名稱 | 物鏡 | 目鏡(WF10/25) | | 數(shù)值孔徑N.A. | 有效工作距離W.D.(mm) | 焦距f′(mm) | 分辨率R(μm) | 物理焦深±Δp(μm) | 物方視場(mm) | 焦點(diǎn)深度±Δ(μm) | | 5X | 0.15 | 11.6 | 40 | 2.1 | 16.3 | Φ5 | 38.3 | | 10X | 0.3 | 6.3 | 20 | 0.9 | 3.1 | Φ2.5 | 7.8 | | 20X | 0.4 | 10.3 | 10 | 0.69 | 1.8 | Φ1.25 | 3.5 | | 50X | 0.8 | 2 | 4 | 0.34 | 0.4 | Φ0.5 | 0.8 | | 100X | 0.80 | 1.96 | 2 | 0.34 | 0.2 | Φ0.25 | 0.6 | 介紹
45MM金相平場消色差明場物鏡。
特點(diǎn)
● 可見光成像
● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑200mm
● 物鏡螺紋M20.32
技術(shù)參數(shù) | 名稱 | 物鏡 | 目鏡(WF10/25) | | 數(shù)值孔徑N.A. | 有效工作距離W.D.(mm) | 焦距f′(mm) | 分辨率R(μm) | 物理焦深±Δp(μm) | 物方視場(mm) | 焦點(diǎn)深度±Δ(μm) | | 5X | 0.13 | 11.6 | 40 | 2.1 | 16.3 | Φ5 | 38.3 | | 10X | 0.3 | 6.4 | 20 | 0.9 | 3.5 | Φ2.5 | 7.8 | | 20X | 0.4 | 11.1 | 10 | 0.7 | 1.6 | Φ1.25 | 3.5 | | 50X | 0.55 | 8.2 | 4 | 0.5 | 10.9 | Φ0.5 | 1.4 | | 100X | 0.80 | 2 | 2 | 0.4 | 0.4 | Φ0.25 | 0.7 | 微分干涉介紹
微分干涉DIC在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù)，可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。
5X、10X、20X專為DIC設(shè)計(jì)，使得整個(gè)視場的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。 |
