6517B型靜電計(jì)/高阻系統(tǒng)特點(diǎn)
電阻測量可達(dá)1016Ω
電流測量范圍1fA-20mA
小電流量程輸入壓降<20μV
200TΩ輸入阻抗
<3fA偏置電流
高達(dá)425rdgs/s
噪聲0.75fA p-p
內(nèi)置±1kV電源
高電阻測量電壓反接方法
可選的插件式掃描卡
主要技術(shù)指標(biāo)
型號 6514 6517B
電流測量 <1fA(包含噪聲)~20mA
電壓測量 10μV(數(shù)字分辨率極限,可能含有噪聲)~200V
電阻測量 10Ω~200GΩ 100Ω~10PΩ
低電阻精度優(yōu)于1%,高電阻精度優(yōu)于10%
(使用236、237、238測量,通過加電壓測電流或加電流測電壓實(shí)現(xiàn),不直接顯示阻值)
電荷測量 10fC(數(shù)字分辨率極限,可能含有噪聲)~20μC 10fC(數(shù)字分辨率極限,可能含有噪聲)~2μC
特性插頭 3 Slot Triax 3 Slot Triax
IEEE-488 有 有
RS-232 有 有
Guard 有 有
CE 有 有
其它 5 1/2精度,替代6512、617-HIQ 5 1/2精度,內(nèi)置±1kV電壓源。濕度、
溫度測量。采用交替電壓極性法測高阻
可配置多通道的掃描卡
附件 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜, 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜,
鱷魚夾型2m長3插槽三同軸線 鱷魚夾型2m長3插槽三同軸線,
8607安全型高壓雙路測試線,
6517-TP熱電偶探針,
CS-1305互鎖連接頭