SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
1. 靜態(tài)測(cè)量
SJ6000激光干涉儀的系統(tǒng)具有模塊化結(jié)構(gòu)，可根據(jù)具體測(cè)量需求選擇不同組件。
SJ6000基本線性測(cè)量配置：
SJ6000全套系統(tǒng)：
線性測(cè)量構(gòu)建
要進(jìn)行線性測(cè)量，需使用隨附的兩個(gè)外加螺絲將其中的一個(gè)線性反射鏡安裝在分光鏡上，這個(gè)組合裝置就是“線性干涉鏡”。線性干涉鏡放置在激光頭和線性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線形成激光光束的參考光路，另一束光入射到線性反射鏡，通過(guò)線性反射鏡的線性位移來(lái)實(shí)現(xiàn)線性測(cè)量。如下圖所示
激光干涉儀可用于精密機(jī)床、三坐標(biāo)的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量。測(cè)量時(shí)在工作部件運(yùn)動(dòng)過(guò)程中自動(dòng)采集并及時(shí)處理數(shù)據(jù)。
SJ6000軟件內(nèi)置10項(xiàng)常用機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)，自動(dòng)采集完數(shù)據(jù)后根據(jù)所選標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算出所需誤差數(shù)據(jù)，為機(jī)床、三坐標(biāo)的誤差修正提供依據(jù)。
利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是反應(yīng)速度快、測(cè)量精度高。
準(zhǔn)直平臺(tái)/傾斜工作臺(tái)的測(cè)量
由于角度鏡組的不同安裝方式，其測(cè)量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實(shí)際需要進(jìn)行安裝、測(cè)量。
在直線度測(cè)量過(guò)程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生相對(duì)于運(yùn)動(dòng)軸的橫向移動(dòng)來(lái)進(jìn)行測(cè)量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對(duì)于直線度反射的運(yùn)動(dòng)，這樣操作有利于提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測(cè)量可以對(duì)水平面和垂直面進(jìn)行測(cè)量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。
1.1. 技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)性能
2測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
2穩(wěn)頻精度：0.05ppm
2動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
2預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
2工作溫度范圍：0~38℃
2環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%
2存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
2空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
2大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
2測(cè)量距離：0-40m
2測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)
2測(cè)量分辨率：1nm
2測(cè)量大速度：3m/sec
角度測(cè)量
2軸向量程：0-15m
2測(cè)量范圍：±10°
2測(cè)量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）
2測(cè)量分辨率：0.1″
平面度測(cè)量
2軸向量程：0-15 m
2測(cè)量范圍：±1.5 mm
2測(cè)量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）
2基板尺寸：50mm、100mm、150mm
測(cè)量分辨率：0.1μm
直線度測(cè)量
2軸向量程：0.1-4.0 m
2測(cè)量范圍：±3.5 mm
2測(cè)量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）
2測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量
2軸向量程：0.1-3.0 m
測(cè)量范圍：±3.5mm
2測(cè)量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）
2測(cè)量分辨率：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
2角度測(cè)量范圍：0-360°
2精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
2精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1″
2精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2″
1.2. 尺寸重量與供電
??便攜箱尺寸：560×360×250（基礎(chǔ)系統(tǒng)），560×460×270（完整系統(tǒng)）
??基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg
??供電電源：110~265VAC
系統(tǒng)組件：
1) SJ6000主機(jī)：1臺(tái)
2) 環(huán)境補(bǔ)償單元：1臺(tái)
3) 光學(xué)鏡組：
線性測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）
小型線性光學(xué)鏡組：1套（選配）
小角度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
直線度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
平面度測(cè)量輔助附件：1套（選配）
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精密轉(zhuǎn)臺(tái)：1套（選配）
4) 測(cè)量軟件：1套
5) 便攜式筆記本電腦：1臺(tái)
6) 便攜式儀器配件箱：1個(gè)
7) 通用三腳架：1個(gè)
8) 云臺(tái)附件：1套
9) 磁性表座：2套
10) 產(chǎn)品使用說(shuō)明書：1套
11) 產(chǎn)品合格證、保修卡：1套
12) 免費(fèi)保修：1年
13) 校準(zhǔn)證書（選配）
激光頻率校準(zhǔn)證書：
1）由深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院出具；
2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
環(huán)境補(bǔ)償單元校準(zhǔn)證書：
1）由深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院出具；
2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
線性位移校準(zhǔn)證書：
1）由中國(guó)出具；
2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
直線度校準(zhǔn)證書：
1）由中國(guó)出具；
2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
小角度校準(zhǔn)證書：
1）由中國(guó)出具；
2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
14) 夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服各1件（選配）
