應(yīng)用案例
* 零膨脹材料的研制
* 負(fù)極負(fù)熱膨脹材料的研制
* 標(biāo)準(zhǔn)材料開發(fā)
* 致動(dòng)器材料的開發(fā)
用途
* 10-9/K級(jí)極低膨脹系數(shù)材料（玻璃，陶瓷，金屬等）的高精度熱膨脹測(cè)量
* 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置光學(xué)曝光元件的測(cè)量
* 測(cè)量精密載物臺(tái)零件
* 航空航天相關(guān)高精度所需材料的測(cè)量
* 高精度光圖基板構(gòu)件的測(cè)量
* 低膨脹系數(shù)材料的質(zhì)量控制
* 標(biāo)準(zhǔn)熱膨脹儀校準(zhǔn)樣品的測(cè)量
特點(diǎn)
* 通過在設(shè)備中包括振動(dòng)消除機(jī)構(gòu)，可以防止振動(dòng)擾動(dòng)的影響，并且可以在能夠穩(wěn)定使用普通電子天平（0.01毫克分辨率）進(jìn)行分析的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量。（日本：2016-058190、058191、058192）
* 測(cè)量樣品相對(duì)于激光波長（632.8 nm）的位移量。集成光學(xué)元件可以消除雜散光，提高干涉條紋信號(hào)的 信噪比。不需要特殊位移校準(zhǔn)的測(cè)量和操作。
* 通過用圖像傳感器檢測(cè)干涉條紋并對(duì)其進(jìn)行圖像處理，即使在樣品測(cè)量過程中，也可以以高分辨率（1納 米）計(jì)算位移（膨脹/收縮）量，并確認(rèn)膨脹系數(shù)。
* 符合JIS R3251-1990標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備參數(shù)
應(yīng)用實(shí)例
