產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HP1000G-CCR高溫?zé)崤_(tái)專為化學(xué)氣相沉積、石墨烯生長(zhǎng)設(shè)計(jì)，可用于顯微鏡/光譜儀，可用于氣相沉積，石墨烯生長(zhǎng)、高溫材料等領(lǐng)域。可定制樣品區(qū)。
此款冷熱臺(tái)可在 30℃ ~ 1000℃ 范圍內(nèi)控溫，同時(shí)允許光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。熱臺(tái)窗蓋與臺(tái)體構(gòu)成一個(gè)氣密腔，可以充入氮?dú)?、還原性氣體、腐蝕性氣體等。
溫控參數(shù)
溫度范圍 | 30℃ ~ 1000℃ |
加熱塊材質(zhì) | 氮化硅 |
傳感器/溫控方式 | S型熱電偶 / PID控制 |
Z大加熱 | +200℃/min （<850℃時(shí)）; min="">850℃時(shí)） |
Z小加熱 | +0.5℃/min |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±1℃ |
軟件功能 | 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線 |
光學(xué)參數(shù)
適用光路 | 反射光路 *另有透射光路型號(hào) |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
Z小物鏡工作距離 | 8.8mm *截面圖中WD |
上蓋窗片觀察 | 窗片范圍Φ27mm，Z大視角±44° *截面圖中θ1 |
結(jié)構(gòu)參數(shù)
加熱區(qū)/樣品區(qū) | 20mm *20mm |
腔高 | 3.5mm *樣品Z大厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度 |
樣品襯底 | 默認(rèn)為剛玉坩堝（Φ7 mmx3 mm） |
上蓋 | 可調(diào)壓力的窗蓋，兼顧氣密型與窗片旋轉(zhuǎn) |
氣氛控制 | 氣密腔，可充入還原性氣體、腐蝕性氣體 |
外殼冷卻 | 通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
安裝方式 | 水平安裝 或 垂直安裝 |
臺(tái)體尺寸/重量 | 115 mm x 84 mm x 24 mm / 1000g |
配置列表
基本配置 | HP1000G-CCR高溫?zé)崤_(tái) 、mK2000B溫控器 、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng) |
可選配件 | 冷熱臺(tái)安裝支架 |
功能特點(diǎn)
適用于 顯微鏡/光譜儀 的超高溫應(yīng)用 |
30℃~1000℃ 可編程控溫 |
20mm加熱區(qū) |
可充入保護(hù)氣體的氣密腔（另有真空腔型號(hào)） |
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK |
*可做定制或改動(dòng)，詳詢蘇州卡斯圖 |
溫控配件系列
用于Instec溫控裝置
適用范圍
用于搭配Instec冷熱臺(tái)、Instec溫控探針臺(tái)、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。
溫控配件系列
安裝支架：用于將溫控裝置固定在用戶設(shè)備上 |
mK2000B溫控器，含InstecAPP溫控軟件，溫控裝置必選 |
LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)：液氮泵+液氮罐+液氮管線 |
外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)，帕爾貼式溫控裝置必選 |
MITO系列溫控聯(lián)用顯微鏡相機(jī)，含控制軟件 |
LWDC2長(zhǎng)工作距離聚光鏡 |
真空系統(tǒng)：包括真空泵+真空管路，用于真空型溫控裝置 |
LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)
主要分為液氮泵和液氮罐兩部分。使用時(shí)需用管路將溫控裝置串接在液氮罐和液氮泵之間，溫控裝置加熱塊內(nèi)埋有封閉式進(jìn)出管路，液氮泵受mK2000B控制進(jìn)行抽氣，把液氮從液氮罐內(nèi)吸到溫控裝置的加熱塊中，實(shí)現(xiàn)溫控裝置主動(dòng)降溫。
外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)
用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時(shí)，外殼/底座溫度會(huì)被帶得很燙/很涼，危害周遭人員設(shè)備及設(shè)備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近，可以預(yù)防此災(zāi)害。
mK2000B溫控器
支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨(dú)立的多段PID控制、可保存4套20段校準(zhǔn)表等特點(diǎn)?？瑟?dú)立控制，也可從InstecAPP軟件控制。
溫度分辨率 | ±0.001℃ (熱敏電阻)，±0.01℃ (RTD)，±0.1℃ (熱電偶) |
控制接口 | USB虛擬串口 可選其他接口 |
可選項(xiàng) | LVDC線性可調(diào)直流電源，用于降低電噪音 |
溫控軟件 | InstecAPP，可提供多語(yǔ)言SDK |
安裝支架
針對(duì)用戶設(shè)備定制，可讓熱臺(tái)水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用戶設(shè)備皆可適用。通常有：
圓環(huán)式（用于圓形載物臺(tái)），平板式（用于方形載物臺(tái)）、
載物臺(tái)式（用于代替設(shè)備載物臺(tái)）、立式（用于水平光路）。
