機器人研拋一體機
基于工業(yè)機器人的小工具加工機床，利用小工具在元件表面高速旋動，實現(xiàn)對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
應(yīng)用
超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
特點
1、基于工業(yè)機器人專用控制系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度表面成型。
2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設(shè)計，精確控制加工過程去除函數(shù)。
3、根據(jù)加工要求，開放式全鏈路加工工藝軟件開發(fā)。
4、根據(jù)客戶要求定制開發(fā)
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優(yōu)勢
1、基于工業(yè)機器人專用控制系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度表面成型。
2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設(shè)計，精確控制加工過程去除函數(shù)。
3、根據(jù)加工要求，開放式全鏈路加工工藝軟件開發(fā)。
4、根據(jù)客戶要求定制開發(fā)主要技術(shù)指標
項目 參數(shù)指標 可加工元件材料 熔石英、K9、微晶等光學(xué)元件；合金鋁等金屬元件 可加工元件尺寸 ≥φ1000mm
拋光工具轉(zhuǎn)速 50-800RPM 力傳感器量程 Fx/Fy：100N; Fz：200N 力傳感器精度 非線性和滯后優(yōu)于0.5%，串擾優(yōu)于2% 力傳感器分辨率 Fx/Fy：0.09N; Fz：0.33N 工具軸運動范圍 1：±180°
2：-90°至+150°
3：-180°至+75°
4：-400°至+400°
5：-125°至+120°
6：-400°至+400°工具軸運動速度 1-6軸均為175°/s 重復(fù)定位精度 0.06mm 面積需求 3.5m×3.5m×3m 溫度要求 22±0.5℃ 濕度要求 40%-80% RH
