性能

• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 無需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單

• MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件

型號變體

• 低壓損型號，最多60 psia（MCW系列）
• 高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
• 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
• 配備氣動(dòng)截止閥的型號，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

閥門選項(xiàng)

您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持性能。

• MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應(yīng)用
• MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
• MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個(gè)小型閥門并排成對，用作一個(gè)閥門。
• MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體（MCS系列）

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個(gè)流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時(shí)將滿量程為20slpm或更小流量計(jì)的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質(zhì)。

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項(xiàng)

• 流量累加器
• 集成式電位計(jì)控制
• 高精度或自定義校準(zhǔn)

氣體噴射控制pH值

在跨度極寬的量程范圍內(nèi)迅速調(diào)整并控制質(zhì)量流量以符合不斷變化的應(yīng)用需要。根據(jù)PLC或PC的數(shù)字反饋，實(shí)時(shí)更改流量設(shè)定值，保持氣體質(zhì)量流量控制器過程工藝條件。

自定義氣體混合系統(tǒng)

艾里卡特的質(zhì)量流量控制器非常適用于構(gòu)建自定義氣體混合系統(tǒng)；在這種類型應(yīng)用中，可充分發(fā)揮氣體質(zhì)量流量控制器固有的靈活性和適應(yīng)性。

高溫質(zhì)量流量控制

艾里卡特的遠(yuǎn)程電子器件選項(xiàng)將電子器件與傳感器和氣體質(zhì)量流量控制器主體部分分隔開來。這允許流動(dòng)的高溫氣體通過氣體質(zhì)量流量控制器的主體部分，且不會(huì)使控制器電子器件超出其設(shè)計(jì)溫度。