CIQ型-氣動超高真空蝶閥
CIQ型氣動超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。碟閥經(jīng)過兩次動作完成關(guān)閉或打開蝶門的過程,閥體的兩面沒有正反面安裝方向,閥門的壓強范圍可拓寬到2×105-1.3-7x10Pa.適用介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
主要零件材料
閥體、蝶門、閥桿:不銹鋼
密封件:氟橡膠,波紋管(軸封)
主要技術(shù)性能
適用范圍: | 2×105~6.7-7x10Pa |
閥門漏率: | ≤1.3×10-7 Pa.L/S(正反向) |
適用溫度: | -30~+150℃ |
安裝狀態(tài): | 任意 |
安裝方向: | 任意 |
開啟壓差: | 2×105Pa. |
開門角度: | 0-90° |
啟閉時間: | 3S |
外形及連接尺寸(mm) (GB6070)
注:以上規(guī)格的法蘭均可做成GB6070,F(xiàn)B6071,JB919,JB5278以及客戶非標的連接尺寸。