chiller溫控器冰水機HRS090改造翻新服務
主要應用與半導體生產過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制,具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
半導體冷卻裝置Chiller適用于半導體、元器件、芯片等高低溫溫度模擬測試,這是一種生產過程中的控溫設備。半導體冷卻裝置Chiller采用了PID控制算法和自適應的控溫技術,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機等組成。
chiller溫控器冰水機HRS090改造翻新服務
制冷劑充注,水泵維修,系統(tǒng)檢漏,改造翻新等服務
chiller溫控器冰水機HRS090改造翻新服務
泵體、管路發(fā)生的泄露、流量小、冷卻力、加熱力的下降,溫度無法調節(jié)等,按照客戶遇到問題時提出的要求,進行維修。
1. 水泵泵體,卡住,異響,振動大
2. 冷凍機,無法制冷,管道堵塞,跳電
3. 維修熱交換器、加熱器
4.制冷劑充注,水泵維修,系統(tǒng)檢漏,改造翻新等服務
chiller溫控器冰水機HRS090改造翻新服務
應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機械拋光), 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制,智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
chiller溫控器冰水機HRS090改造翻新服務
應用領域
激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調、高頻感應加熱設備、X射線(數(shù)字式)設備等
高低溫液體冷卻機Chiller
溫控精度(空載時)±0.05℃
觸摸屏操作,人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩(wěn)定、準確控溫