高精度真空探針臺(tái)的產(chǎn)品用途:探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測(cè)試,廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高精度探針臺(tái)該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60*60不銹鋼臺(tái)面,臺(tái)面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動(dòng),三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中x方向調(diào)節(jié)范圍:0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍:0—20mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0—20mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需要檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè)。
高精度真空探針臺(tái)的技術(shù)參數(shù):
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺(tái)尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺(tái)間距 | 75mm |
加熱臺(tái)溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺(tái)溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號(hào)接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |