● 的 EMI / RFI / 光密屏蔽設(shè)計(jì)
● FemtoAmp 低泄漏能力
● 溫度范圍 -60°C 至 300°C
● 支援飛安級(jí)低漏電量量測(cè)
● ERS 的 AC3 冷卻技術(shù)
● 具有高度可重復(fù)性（1µm）的壓板提升設(shè)計(jì)，具有用于安全，接觸，分離（300µm）和加載（3mm）的三個(gè)離散位置
Chuck XY行程
● 樣品測(cè)試尺寸：8 英寸 - 12 英寸
● 行程范圍：225 × 260 mm (8.9 × 10.2 in)
● 精密行程范圍：25 × 25 mm
● 精細(xì)行程分辨率：< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev
● 表面平坦度：≤ ±5 μm
● 盤旋轉(zhuǎn)：360°
● 卡盤旋轉(zhuǎn)：± 5.0°
Chuck Z行程
● 行程范圍：5 mm (0.2 in)
● 行程精度：< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev
● 氣浮行程：20 mm, pneumatically
手動(dòng)顯微鏡
● 移動(dòng)范圍：50 × 50 mm (2 × 2 in)
● 分辨率：< 5μm (0.2 mils)
