微電子研究所生產(chǎn)的KW-4A型勻膠機(jī)

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A、KW-4T和KW-5型。 

 產(chǎn)品主要特點(diǎn) 

1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。 

2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。   

3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)，時(shí)間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。 

4、具有定時(shí)功能。  

5、測(cè)速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作，適合流水線的工藝，提高了效率。   

7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。 

> 參數(shù)：手動(dòng)旋鈕控制 
        > 基片尺寸φ5-100mm圓片、100x100mm2方片 
        > 轉(zhuǎn)速：500-8000轉(zhuǎn)/分 
        > 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%，膠的均勻性±1% 
        > 勻膠階段：2段 
        > 勻膠時(shí)間：Ⅰ速0~18S,（0~60S）；Ⅱ速0~60S,（0~180S） 
        > 電機(jī)功率：40W 
        > 整機(jī)尺寸（長寬高）：210mm×260mm×275mm 
        > 適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料