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  • 620NT 光刻機(jī)

620NT 光刻機(jī)

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-08-12
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值259
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專(zhuān)注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷(xiāo)售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線(xiàn)及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專(zhuān)業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專(zhuān)業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶(hù)的科研方向和量產(chǎn)的器件類(lèi)別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
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EVG 620NT 光刻機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光電、生物醫(yī)療等領(lǐng)域,用于生產(chǎn)精密電子元件、微型機(jī)械元件和光學(xué)元件等。
620NT 光刻機(jī) 產(chǎn)品詳情

主要特點(diǎn)及參數(shù)

高效率:采用的光學(xué)技術(shù),縮短了生產(chǎn)周期,提高了生產(chǎn)效率

高精度:通過(guò)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的精細(xì)調(diào)整,保證圖像的精確性

易操作:系統(tǒng)控制簡(jiǎn)單方便,易于生產(chǎn)操作

設(shè)備安全:系統(tǒng)采用安全設(shè)計(jì),確保生產(chǎn)過(guò)程中的人員和設(shè)備安全

技術(shù)支持:提供專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持和售后服務(wù),保證系統(tǒng)的正常使用

光刻材料:支持多種光刻材料,包括硅片、玻璃片、聚碳酸酯等

半導(dǎo)體工藝:支持常用的半導(dǎo)體工藝,如薄膜沉積、光刻、蝕刻等

光刻工具:支持常用的光刻工具,如光刻掩膜、光刻模板等

分辨率:可達(dá)到 100 nm

工作面積:620 mm × 620 mm

光源:KrF 激光

光路系統(tǒng):F-Theta 鏡


EVG 620NT 光刻機(jī)的工藝過(guò)程大致如下:

1. 材料準(zhǔn)備:選擇適當(dāng)?shù)墓饪滩牧?,如硅片、玻璃片等,進(jìn)行表面處理

2. 掩膜制作:根據(jù)生產(chǎn)要求,制作光刻掩膜,并確保掩膜的精確性

3. 樣品處理:將樣品固定在工作臺(tái)上,并確保樣品的穩(wěn)定性

4. 光刻操作:打開(kāi)光刻機(jī),根據(jù)生產(chǎn)要求,對(duì)樣品進(jìn)行光刻處理

5. 樣品檢查:檢查樣品的質(zhì)量,確保其符合生產(chǎn)要求

分辨率:可達(dá)到 100 nm

工作面積:620 mm × 620 mm

光源:KrF 激光

光路系統(tǒng):F-Theta 鏡

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