日本HORIBA SEC-Z500X系列多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
型號:
SEC-Z512KX SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z532MGXN SEC-Z542MGXN SEC-Z552MGX SEC-Z562MGX
SEC-Z514KX SEC-Z514MGX SEC-Z514MGXN SEC-Z534MGXN SEC-Z544MGXN
SEC-Z554KX SEC-Z564KX
SEC-Z517KX SEC-Z517MGX SEC-Z527MGXN
SEC-Z537MGXN SEC-Z547MGXN SEC-Z557MGX SEC-Z567MGX
品 牌：HORIBA STEC
產(chǎn)品型號：SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列
原產(chǎn) 國：國外 日本
詳細說明：SEC-Z500X系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、流量計
質(zhì)量流量控制器是半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備上的關(guān)鍵部件。它的質(zhì)量和性能是影響半導(dǎo)體制程優(yōu)劣的主要因素。HORIBA STEC作為一家長期以來，為半導(dǎo)體持續(xù)不斷的提供高質(zhì)量、高性能的元器件供應(yīng)商，已將擴展到50%以上。
特征
- 高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現(xiàn)線性補償。此功能實現(xiàn)量程上的高精度。為了真實的反應(yīng)實際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測了不同的工藝氣體創(chuàng)建了針對不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標(biāo)準氣體管理系統(tǒng)，實現(xiàn)氣體精度確認。 - 高速響應(yīng)
裝載“變量PID系統(tǒng)”可實現(xiàn)兩設(shè)定點之間1秒內(nèi)快速響應(yīng)。變量PID基于流量設(shè)定點而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。 - 多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單更改MFC的規(guī)格。MFC的規(guī)格改變不需從設(shè)備端拆卸。此舉減少MFC庫存需求，減少時間和成本的浪費。
制造: HORIBA STEC
產(chǎn)品相關(guān)尺寸及其他
