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高低溫晶圓盤探針臺卡盤CHUCK
TC-A (Air Cooling Thermal System )系列是一款溫度范圍為-65℃到200℃氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng),主要由氣冷高低溫卡盤和氣冷溫控器組成。系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、純空氣制冷、高溫度精度與穩(wěn)定性控制等特性,應用于八英寸及以下尺寸的半導體器件或晶圓的變溫電學性能關鍵參數分析,如:功率器件建模測試、晶圓可靠性評估、生產型變溫檢測,變溫光電測試、射頻 變溫測試等。
高低溫晶圓盤三溫CHUCK探針臺卡盤對于要求快速溫度變化的分析和生產測試應用,降溫和加熱時間對晶圓測試尤為重要。溫度轉換率比基于水或空氣的傳統(tǒng)系統(tǒng)要快得多。
高低溫晶圓盤探針臺卡盤CHUCK
• 僅使用空氣冷卻—無液體或帕爾貼元件
• 溫度范圍為-65℃到200℃
• 模塊化系統(tǒng),適合單獨測試的需要
• 冷卻劑占地面積小,節(jié)省空間
• 兼容各大主流生產型或分析型探針臺
• 可集成全套的軟硬件于一體
功率器件建模測試、晶圓可靠性評估、生產型變溫檢測,變溫光電測試、射頻 變溫測試等