聯(lián)訊儀器S3030F是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的單通道高電壓、高功率電源/測量單元，能夠同時輸出和測量電壓和電流， 能夠提供*大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率輸出，能廣泛地應(yīng)用在功率半導(dǎo)體特性，GaN、SiC表征，復(fù)合材料，高壓漏電流等測試和研究領(lǐng)域。S3030F支持傳統(tǒng)的SMU SCPI命令，讓測試代碼的遷移變得輕松快捷， 可支持多機(jī)同步，集成到生產(chǎn)測試系統(tǒng)中使用，以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。
S3030F高壓型高精度源表SMU電壓源指標(biāo)：
| 電壓設(shè)置精度 | 量程 | 設(shè)置分辨率 | 精度(1年) ±(%讀數(shù)+ 偏置) | 典型噪聲(有效值) 0.1 Hz-10Hz |
| ±3500 V | 40 mV | 0.02%+600 mV | 50 mV | |
| ±2500 V | 30 mV | 0.02%+450 mV | 40 mV | |
| ±1500 V | 20 mV | 0.02%+300 mV | 25 mV | |
| ±600 V | 7mV | 0.02%+120 mV | 10 mV | |
| ±200 V | 3mV | 0.02%+40 mV | 3 mV | |
| 溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
| 設(shè)置時間 | <5 mS (典型值) | |||
| 過沖 | <±1% (典型值，Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負(fù)載測試) | |||
| 噪聲10Hz-20MHz | 1500V電壓源，120 mA電阻負(fù)載，<200mV RMS | |||
S3030F高壓型高精度源表SMU電流源指標(biāo)：
| 電流設(shè)置精度 | 量程 | 設(shè)置分辨率 | 精度(1年) ±(% 讀數(shù)+偏置) | 典型噪聲(有效值)0.1Hz-10Hz |
| ±120 mA1 | 3 uA | 0.02% + 35 μA | 120 uA | |
| ±20 mA | 400 nA | 0.02% + 15 μA | 20 uA | |
| ±10 mA | 200 nA | 0.02% + 3 uA | 10 uA | |
| ±1 mA | 20 nA | 0.02% + 300 nA | 1 uA | |
| ±100 μA | 2 nA | 0.02% + 30 nA | 100 nA | |
| ±10 μA | 200 pA | 0.03% + 5 nA | 10 nA | |
| ±1 μA | 20 pA | 0.03% + 1 nA | 1 nA | |
| ±100 nA | 2 pA | 0.2% +100 pA+Vo x 100 fA | 100 pA | |
| ±10 nA | 200 fA | 0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA | 10 pA | |
| ±1 nA | 20 fA | 0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA | 1 pA | |
| 溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
| 設(shè)置時間 | <10 ms (典型值) | |||
| 過沖 | <±1% (典型值，Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負(fù)載測試) | |||
1，120mA量程僅支持1500V及以下電壓量程
S3030F高壓型高精度源表SMU電壓表指標(biāo)：
| 電壓測量精度 | 量程 | 顯示分辨率 | 精度(1年)±(%讀數(shù)+偏置) |
| ±3500 V | 1 mV | 0.02%+600 mV | |
| ±2500 V | 1mV | 0.02%+450 mV | |
| ±1500 V | 1 mV | 0.02%+300 mV | |
| ±600 V | 100 uV | 0.02%+120 mV | |
| ±200 V | 100 uV | 0.02%+40 mV | |
| 溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
S3030F高壓型高精度源表SMU電流表指標(biāo)：
| 電流測量精度 | 量程 | 顯示分辨率 | 精度(1年) ±(% 讀數(shù)+偏置) |
| ±120 mA1 | 100 nA | 0.02% + 35 μA | |
| ±20 mA | 10 nA | 0.02% + 15 μA | |
| ±10 mA | 10 nA | 0.02% + 3 uA | |
| ±1 mA | 1 nA | 0.02% + 300 nA | |
| ±100 μA | 100 pA | 0.02% + 30 nA | |
| ±10 μA | 10 pA | 0.03% + 5 nA | |
| ±1 μA | 1 pA | 0.03% + 1 nA | |
| ±100 nA | 100 fA | 0.2% +100 pA+Vo x 100 fA | |
| ±10 nA | 10 fA | 0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA | |
| ±1 nA | 1 fA | 0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA | |
| 溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
1，120mA量程僅支持1500V及以下電壓量程
S3030F高壓型高精度源表SMU電阻表指標(biāo)(4線)
| 電阻測量精度 | 量程 | 顯示分辨率 | 默認(rèn)測量電流 | 典型精度(1年) ±(%讀數(shù)+偏置) |
| 100 Ω | 100 μΩ | 100 mA | 0.075% + 400 mΩ | |
| 1 kΩ | 1 mΩ | 10 mA | 0.07% + 4 Ω | |
| 10 kΩ | 10 mΩ | 1 mA | 0.07% + 40 Ω | |
| 100 kΩ | 100 mΩ | 100 μA | 0.07% + 400 Ω | |
| 1 MΩ | 1 Ω | 10 μA | 0.10% + 4 kΩ | |
| 10 MΩ | 10 Ω | 1 μA | 0.15% + 40 kΩ | |
| 100 MΩ | 100 Ω | 100 nA | 0.32% + 400 kΩ | |
| 1 GΩ | 1 KΩ | 10 nA | 0.32% + 4 MΩ | |
| 10 GΩ | 10 KΩ | 1 nA | 0.72% + 40 MΩ | |
| 溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/℃ (0℃-18℃，28℃-50℃) | |||
| 手動電流源電阻測量 (四線) | 總體誤差=測量電壓/電流源設(shè)定電流=電阻讀數(shù)x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設(shè)定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設(shè)定電流值) 示例：電流源設(shè)定電流=10mA 電壓測量量程=200V 總體誤差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA) ≈0.07%+4Ω | |||
注：測量電壓=默認(rèn)測量電流*被測電阻值≤10.5V
