MFC330 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
MFM / MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器, 其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
介質(zhì)要求 Applicable media | 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale(N2 equivalent) | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
測(cè)量范圍measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范圍 Control range | 1% - 1 00% F.S. (1:100) |
準(zhǔn)確度 Accuracy | 標(biāo)準(zhǔn) Standard:±1% F.S. 高精度High Performance:±0.5% |
重復(fù)精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制響應(yīng)時(shí)間 Settling time (in control) | <3秒 |
預(yù)熱時(shí)間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
閥門Valve function | 常閉式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
機(jī)械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar) |
工作壓差范圍 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 ~ 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質(zhì)Material | 氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質(zhì)Seals | 氟橡膠 FKM |
防護(hù)等級(jí) Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes | M4 5mm |
重量 Weight | 0.96 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號(hào) Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA (可定制) |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數(shù)字信號(hào) Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默認(rèn)), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用戶可修改) |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC, <200mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號(hào)精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
標(biāo)況 STP reference conditions | 20℃, 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 可選,具體參考說明書氣體系數(shù) |
軟件Software | Aitoly分階流量軟件 |