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mfc330 微小氣體流量控制器

參考價(jià)訂貨量

4600

≥10只

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)mfc330
  • 品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時(shí)間2024-10-15
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量15
  • 人氣值106
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產(chǎn)地國(guó)產(chǎn) 加工定制 質(zhì)保1年
MFC330 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
MFM / MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器, 其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
微小氣體流量控制器 產(chǎn)品詳情

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被測(cè)氣體進(jìn)入,通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

介質(zhì)要求 Applicable media

潔凈干燥氣體 Clean, dry gases

氣體種類 Gas type

98+氣體可選 Available for 98+ types of gas

量程 Full Scale(N2 equivalent)

0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

測(cè)量范圍measurement range

0.5%F.S. (1:200)

控制范圍 Control range

1% - 1   00% F.S. (1:100)

準(zhǔn)確度 Accuracy

標(biāo)準(zhǔn) Standard±1% F.S.   高精度High Performance±0.5%

重復(fù)精度Repeatability

±0.2% F.S.

線性度Linearity

±0.2% F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間 Settling time (in control)

<3秒  

預(yù)熱時(shí)間 Warm-up time

5 min (T95), 30分鐘  30min for optimum accuracy

閥門Valve function

常閉式 Normally Closed

泄露率 Leak integrity

1*10-8 Pa·m3/sec He

 

機(jī)械特性 MECHANICAL

工作壓力 Maximum pressure

3 MPa (30bar

工作壓差范圍 Operating differential pressure

0 ~ 1 MPa

工作溫度范圍Operating temperature range

-20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas)

濕度范圍 Relative humidity range

0 ~ 98% 無凝露 No-condensing

氣路接頭類型Process connections

卡套,、VCR、快插、快擰 (可選)

(Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

氣體接觸材質(zhì)Material

氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel)

密封材質(zhì)Seals

氟橡膠 FKM

防護(hù)等級(jí) Ingress protection (housing)

IP40

安裝方式 Mounting

水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation

固定孔 Mounting holes

M4   5mm

重量 Weight

0.96 kg

 

電氣和通訊 COMMUNICATIONS

電氣連接接口類型Electrical connection

DB  9公頭 (Male)

模擬信號(hào) Analog input and output options

0  5 VDC, 4  20 mA (可定制)

輸入輸出阻抗 Impedance resistance

輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ

模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate

200Hz

數(shù)字信號(hào) Digital input and output options

Modbu RTU (RS232, RS485), CAN

通信速率 Digital data update rate

9600(默認(rèn)), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用戶可修改

電源 Power requirements

15  40 VDC, <200mA

顯示更新頻率Display update rate

50Hz

模擬信號(hào)精度 Analog signal accuracy

±0.05%F.S.

 

特征 FRATURE

標(biāo)況 STP reference conditions

20℃, 1 atm

氣體選擇Gas Select

可選,具體參考說明書氣體系數(shù)

軟件Software

Aitoly分階流量軟件


熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
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