可與多種單元組合，支持任何工序的特性評(píng)估，適用于下一代的半導(dǎo)體測(cè)量。
搭載電壓5kV、電流2kA，備有脈沖輸出、門極模式、微電流測(cè)量功能，大力支持Sic、GaN等寬禁帶半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)評(píng)估。
5kV、2000A的大功率測(cè)試
正確的微電流測(cè)量 (分辨率250fA）
大畫面12.1英寸觸摸屏幕
多種GATE信號(hào)輸出功能
充實(shí)的溫度特性測(cè)量選配件
探測(cè)臺(tái)上的大功率晶圓測(cè)試
易于使用的UI
搭載12.1英寸TFT-LCD(1,280×800)的高清、大畫面顯示器，添加觸摸屏幕操作功能，可通過前面板上的功能鍵、各功能的獨(dú)立旋鈕實(shí)現(xiàn)直觀操作。
①X-Y顯示區(qū)域
可將任意電壓/電流參數(shù)分別設(shè)置于X軸、Y軸，并顯示Vds Id特性、閾值電壓、Vds-Vgs飽和特性等各種半導(dǎo)體特性曲線。同時(shí)，還可在Y軸上設(shè)置多個(gè)參數(shù)。刻度可在Log/線性之間相互切換。
②Y-T顯示區(qū)域
可像示波器一樣通過時(shí)間軸顯示測(cè)量印加波形。可實(shí)時(shí)確認(rèn)脈寬、測(cè)量點(diǎn)、振蕩等波形異常等，所以可輕松檢驗(yàn)測(cè)量是否正確完成。 所有印加波形數(shù)據(jù)均可與X-Y顯示的數(shù)據(jù)同時(shí)保存，所以可對(duì)測(cè)量結(jié)果再次執(zhí)行檢驗(yàn)。
③測(cè)量數(shù)據(jù)顯示區(qū)域
以文本方式顯示詳細(xì)測(cè)量結(jié)果和測(cè)量條件、狀態(tài)。
④配置設(shè)置區(qū)域
設(shè)置設(shè)備的測(cè)量配置。支持以圖形方式顯示電壓/電流單元的選擇及配線變更等
⑤參數(shù)設(shè)置區(qū)域
在此區(qū)域執(zhí)行測(cè)量參數(shù)/測(cè)量限值的設(shè)置及手動(dòng)/自動(dòng)測(cè)量的切換等作業(yè)。
⑥操作面板
正面面板上配有按鈕和轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕，可輕松執(zhí)行手動(dòng)測(cè)量。 配置于的數(shù)字鍵可執(zhí)行參數(shù)的數(shù)值輸入。 可通過DRAIN/COLLECTOR/GATE/BASE/垂直軸/水平軸轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕輕松執(zhí)行手動(dòng)測(cè)量。
基于用途的輸出源
可基于用途任意選擇測(cè)量所需電壓/電流單元。
右側(cè)照片分別為：
上段：測(cè)試臺(tái)
下段：大電流單元
HV單元
2kV、5kV的高電壓單元。DC/脈沖波可選。額定電壓/額定電流驅(qū)動(dòng)測(cè)量可選。
| 主單元 | CS-8200 | CS-8500 |
|---|---|---|
| 電壓 (電流) | 2 kV （20 mA） | 5 kV （8 mA） |
| 波形 | DC、脈沖 | |
| 極性 | 正/負(fù) | |
| 測(cè)量電流分辨率 | 250 fA | |
MV單元(所有主單元標(biāo)配)
200V的中電壓單元。額定電壓/額定電流驅(qū)動(dòng)測(cè)量可選。DC、脈沖等、SIN、半波、全波波形可選。
| 電壓 (電流) | 200 V（2 A） |
|---|---|
| 波形 | DC（200 mA）、 脈沖(2A)、 SIN、半波、全波 |
| 極性 | 正/負(fù)/兩極性 |
| 測(cè)量電流分辨率 | 250 fA |
GATE單元(所有主單元共通)
40V的單元。額定電壓/額定電流驅(qū)動(dòng)測(cè)量可選。DC、脈沖等、SIN可選。
| 電壓(電流) | 40 V（1 A） |
|---|---|
| 波形 | DC、脈沖、SIN |
| 極性 | 正/負(fù)/兩極性 |
| 測(cè)量電流分辨率 | 250 fA |
HC單元
搭載大電流模式，由此可支持2000A的大電流測(cè)量。脈寬、測(cè)量周期、測(cè)量范圍均可調(diào)整
| HC 單元 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
|---|---|---|---|
| 電流 (電壓) | 500 A （50 V） | 1 kA （50 V） | 2 kA （50 V） |
| 波形 | 脈沖 | ||
| 脈寬 | 10μs～1ms | 10μs～500μs | |
| 極性 | 正/負(fù) | ||
最小電流分辨率 50 fA
通過三軸的采用和測(cè)量類的優(yōu)化，有效削減了設(shè)備內(nèi)的漏電流和噪聲，可實(shí)現(xiàn)微電流的穩(wěn)定測(cè)量。
碼型GATE信號(hào)輸出
可按排序輸出、印加GATE信號(hào)。
保持時(shí)間可調(diào)范圍
0.000[s] ～ 5.000[s]
預(yù)備信號(hào)電壓范圍
GATE側(cè) -40[V] ～ +40[V]
SiC 遲滯測(cè)量功能
CS-8000對(duì)于具有遲滯的SiC及GaN等寬禁帶半導(dǎo)體測(cè)量備有便利功能。
雙重掃頻功能可同時(shí)顯示UP掃頻、DOWN掃頻，所以可執(zhí)行遲滯觀測(cè)。
安全裝置
添加聯(lián)動(dòng)功能，備有輸出限值功能。
可為電壓/電流/功率分別設(shè)置限值，由此防止DUT的損傷。
同時(shí)，通過硬件的過電流保護(hù)功能，在流入測(cè)量量程的1.4倍電流時(shí)即會(huì)阻斷電流。
組合結(jié)構(gòu)
可根據(jù)測(cè)量對(duì)象電壓和電流選擇HC單元或測(cè)試臺(tái)。
■結(jié)構(gòu)示例 在2kV、2,000A環(huán)境下使用時(shí)
主單元：CS-8200
HC單元：CS-220
測(cè)試臺(tái)：CS-8200
附件電纜：
HV標(biāo)配電纜套裝 CS-021
HC標(biāo)配電纜套裝 CS-022
CS-8000 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀系列 主要規(guī)格
| 主單元 機(jī)型名稱 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 | |
|---|---|---|---|---|
| HV單元 | ||||
| 峰值電壓(電流) | ― | 2 kV（20 mA） | 5 kV（8 mA） | |
| 測(cè)量電壓量程(滿量程) | ― | 2 kV ～ 50 V | 5 kV ～ 50 V | |
| 測(cè)量電流量程 | ― | 20 mA ～ 50 μA | 20 mA ～ 50 μA | |
| 最小測(cè)量電流分辨率 | ― | 250 fA | 250 fA | |
| 波形 | ― | DC/脈沖 | DC/脈沖 | |
| MV單元 | ||||
| 峰值電壓(電流) | 200 V（1 A） | |||
| 測(cè)量電壓量程(滿量程) | 200 V ～ 200 mV | |||
| 測(cè)量電流量程 | 2 A ～ 5 nA | |||
| 最小測(cè)量電流分辨率 | 250 fA | |||
| 波形 | DC(200 mA)、脈沖(2A)、SIN、半波、全波 | |||
| GATE單元 | ||||
| 峰值電壓(電流) | 40 V（1 A） | |||
| 測(cè)量電壓量程(滿量程) | 50 V ～ 1 V | |||
| 測(cè)量電流量程 | 1 A ～ 5 nA | |||
| 最小測(cè)量電流分辨率 | 250 fA | |||
| 波形 | DC/脈沖/SIN（50 Hz） | |||
| 標(biāo)配附件 | 電源線、控制接口終端器、使用說明書(手冊(cè)＋CD) | |||
| HC單元 機(jī)型名稱 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
|---|---|---|---|
| 峰值電流(電壓) | 500 A（50 V） | 1,000 A（50 V） | 2,000 A（50 V） |
| 測(cè)量電壓量程(滿量程) | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV |
| 測(cè)量電流量程 | 500 A ～ 5 A | 1,000 A ～ 5 A | 2,000 A ～ 5 A |
| 波形 | 脈沖 （脈寬10μs ～ 1ms） | 脈沖 （脈寬10μs ～ 500μs） | 脈沖 （脈寬10μs～ 500μs） |
| 標(biāo)配附件 | 電源線、HC-FIXTURE連接單元、使用說明書 | ||
使用HC單元時(shí)，需另行準(zhǔn)備感應(yīng)電纜。
| 測(cè)試臺(tái) 機(jī)型名稱 | CS-320MV(計(jì)劃近日發(fā)售) | CS-322HV/HC |
|---|---|---|
| 標(biāo)配附件 | 電源線、標(biāo)配引腳套裝(CS-005 1套7根)、使用說明書 | |
| ― | HV／HC電纜(2根) | |
連接測(cè)試臺(tái)時(shí)，需另行準(zhǔn)備連接線。
連接線套裝(連接測(cè)試臺(tái)及HC單元時(shí)使用。)
| 電纜套裝名稱 | 型號(hào) | 品名 |
|---|---|---|
CS-020 MV標(biāo)配電纜套裝 （CS-320專用推薦套裝） | CS-026 | 三軸電纜(L=1.0m) 7根 |
| CS-027 | 控制接口連接線（L=1.0m） 1根 | |
| CS-028 | 聯(lián)動(dòng)/感應(yīng)電纜（L=1.0m） 1根 | |
CS-021 HV標(biāo)配電纜套裝 （CS-322專用推薦套裝） | CS-025 | HV電纜(L=1.0m) 2根 |
| CS-026 | 三軸電纜(L=1.0m) 7根 | |
| CS-027 | 控制接口連接線（L=1.0m） 1根 | |
| CS-028 | 聯(lián)動(dòng)/感應(yīng)電纜（L=1.0m） 1根 | |
CS-022 HC標(biāo)配電纜套裝 （HC單元專用推薦套裝） | CS-027 | 控制接口連接線（L=1.0m） 1根 |
| CS-028 | 聯(lián)動(dòng)/感應(yīng)電纜（L=1.0m） 1根 |
