主要技術(shù)指標(biāo)
基本精度0.65%
直流偏置 0 V to ±40 V, 0 A to ±100 mA (option 001)
頻率 3 GHz
Measurement RF-IV method
測量范圍(精度< 10%) 120 mΩ to 52 kΩ
Keysight E4991B 阻抗分析儀是表征和評測電子元器件、半導(dǎo)體器件和材料的理想解決方案。
* 3 種可升級的頻率選件:1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz
*±0.65% 基本準(zhǔn)確度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范圍(10% 測量準(zhǔn)確度范圍)
*測量參數(shù):|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1. 需要選件 001)
*內(nèi)置直流偏置(選件 001):0 V 至 ±40 V,0 A 至 ±100 mA
*10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條跡線
* 數(shù)據(jù)分析功能:等效電路分析、極限線測試
*介電/磁性材料測量(選件 002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
*提供溫度特征測量(選件 007)和可靠的晶圓上測量(選件 010) 材料測量選件提供溫度特征分析功能(選件 007),并能夠直接得到介電常數(shù)和導(dǎo)磁率的讀數(shù)(選件 002)。
*探頭臺連接套件(選件 010)可以在高達(dá) 3 GHz 的頻率范圍內(nèi)提供準(zhǔn)確的晶圓上或微型元器件阻抗測量解決方案。 E4991B 支持多款測試附件,讓測量變得簡單而可靠。
*無論您是從事研發(fā)、質(zhì)保還是質(zhì)檢工作,E4991B 都可以幫助您出色地表征和測試電子元器件、半導(dǎo)體器件和材料。
在材料測量方面,E4991B 與 N1500A-005 材料測量套件相結(jié)合,能夠非常容易地完成從設(shè)置夾具到生成報告的整個測量過程(高達(dá) 1 GHz)。