產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 可測(cè)范圍廣，0.01~99%
● 滿量程超低壓損為360Pa
● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
精度升級(jí)
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測(cè)量范圍 0.01～99%
顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開(kāi)關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程）見(jiàn)上段精度升級(jí)部分
± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復(fù) 性 ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）
質(zhì)量流量溫度漂移 0.03%滿量程當(dāng)溫度從25℃起每變化1℃
質(zhì)量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于10 ms
預(yù)熱時(shí)間 < 1="">
標(biāo)定工況 25 ℃&1 Atm（可現(xiàn)場(chǎng)在測(cè)量范圍內(nèi)隨意更改）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無(wú)冷凝
工作壓力 0.3 MPa表壓，進(jìn)出口允許瞬時(shí)壓差70 Kpa
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）
供電電流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁
過(guò)程連接 詳情參考?jí)簱p表
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
* 如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及供電電流需來(lái)電垂詢
選項(xiàng)配件
●標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無(wú)需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號(hào)接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸入 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號(hào)輸入可選 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可測(cè)量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號(hào)接口
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸入(僅用于質(zhì)量流量控制器)
RS-485數(shù)字信號(hào)輸出
4-20mA模擬信號(hào)輸出
第二種模擬信號(hào)輸出 (僅用于質(zhì)量流量計(jì))
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過(guò)高或過(guò)低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門(mén) (僅用于質(zhì)量流量控制器)
高流量低壓損閥門(mén) (僅用于質(zhì)量流量控制器)
集成式電位計(jì)控制 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
機(jī)構(gòu)認(rèn)證
待更新。
尺寸壓損
滿量程質(zhì)量流量計(jì) | 滿量程壓損1（PSID） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 過(guò)程連接尺寸1 |
0.5 ~ 5 SCCM | 0.07 PSID | 3.897''H x 2.375''W x 1.050''D | M5 內(nèi)螺紋（10-32兼容）2 |
10 ~ 20 SCCM | 0.07 PSID | ||
50 SCCM ~ 5 SLPM | 0.07 PSID | 4.067''H x 2.375''W x 1.050''D | 1/8'' NPT 內(nèi)螺紋 |
5 SLPM | 0.07 PSID | 4.167''H x 2.375''W x 1.050''D | |
10 SLPM | 0.08 PSID | 4.207''H x 2.625''W x 1.050''D | 1/4'' NPT 內(nèi)螺紋 |
20 SLPM | 0.25 PSID | 4.367''H x 4.000''W x 1.600''D | |
40 SLPM | 0.12 PSID | 4.967''H x 4.000''W x 1.600''D | 1/2'' NPT 內(nèi)螺紋 |
50 SLPM | 0.14 PSID | 3/4'' NPT 內(nèi)螺紋 | |
100 SLPM | 0.24 PSID | ||
250 SLPM | 0.60 PSID | ||
500 SLPM | 0.39 PSID | 5.287''H x 5.200''W x 2.900''D | |
1000 SLPM | 0.24 PSID | 6.267''H x 5.200''W x 3.840''D | 2'' NPT 內(nèi)螺紋 |
1、有關(guān)可用的進(jìn)程連接選項(xiàng)，請(qǐng)，例如： 壓縮、表面密封、推入式連接、BSPP、SAE或Swagelok®（包括管子、VCO和VCR）。 2、與Buna-N O型密封圈一起裝箱至1/8“內(nèi)螺紋NPT接頭。 | |||
產(chǎn)品大圖
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。
* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測(cè)控，具體請(qǐng)咨詢我們。
