可見光靶標
可見光靶標主要分為兩類:A)反射式靶標,B)透射式靶標。反射式靶標無法提供高精度的靶標圖形因此只能用于可見光成像系統(tǒng)簡單的評估測試。透射式靶標的精度可以達到次微米級,通常采用在干凈的玻璃基板上光刻的方法而得到。Inframet采用USAF 1951靶標,其具備很好的通用性,既支持低分辨率相機測試,也同時支持高分辨率相機測試。
參數(shù) | 數(shù)值 |
圖案類型 | 3桿 |
圖案組數(shù) | 0到7 (可選0-8) |
空間頻率范圍 | 1-228lp/mm (可選1-456lp/mm) |
對比度 | 2%到99% |
基板 | 鈉鈣玻璃 (可選石英) |
圖形鍍膜 | 鉻 |
靶標板尺寸 | 23x23 mm |