描述
MEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析,實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)的顯微鏡實(shí)現(xiàn)結(jié)合,標(biāo)準(zhǔn)分析口徑大小為15 微米和18微米(最小可做到4微米),可在室溫大氣環(huán)境中測(cè)試,也可在特定的環(huán)境中測(cè)試。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、面板材料的微米尺度空間分辨率的實(shí)時(shí)元素分析。
系統(tǒng)特點(diǎn)
LIBS分析與目視檢測(cè)顯微鏡的相結(jié)合
266nm紫外激光光源 20Hz
分析口徑:15µm 或8µm ( 最小可到4µm)
具有配置衰減器的激光光束整形功能
系統(tǒng)中配置攝像機(jī)
配置自動(dòng)三維調(diào)節(jié)臺(tái)可用來校準(zhǔn)激光
聚焦和對(duì)樣品進(jìn)行序列測(cè)量
技術(shù)參數(shù)
激光器類型 脈沖Nd:YAG
波長(zhǎng) 266nm
頻率 20Hz
激發(fā)光能量穩(wěn)定性 ± 5% RMS up to 1mJ (on 100 shots)
波長(zhǎng)范圍 180to950 nm(取決于所選的光譜儀)
探測(cè)器類型 ICCD
激光器出射光直徑 15µm or 8µm
探測(cè)極限 ppm—幾千ppm(取決于所測(cè)試元素種類)
數(shù)據(jù)獲取時(shí)間 <1%