P2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)小流量液體進(jìn)行快速、精確控制的領(lǐng)域。其簡(jiǎn)單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。的熱式測(cè)量系統(tǒng)提供精確的測(cè)量，同時(shí)液體溫度上升小于5度。高級(jí)的控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可提供對(duì)小流量液體 進(jìn)行 快速、穩(wěn)定的控制。 P2000i系列同時(shí)也包括有一個(gè)液體質(zhì)量流量計(jì)，用于那些不需要進(jìn)行流量控制的場(chǎng)合。
D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)液體快速、精確控制的半導(dǎo)體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可讓響應(yīng)時(shí)間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保（高純度和泄漏完整性）。的層流旁路和傳感器部件提供精確的測(cè)量，同時(shí)液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡(jiǎn)單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
壓電式控制閥
金屬密封結(jié)構(gòu)
響應(yīng)時(shí)間快
設(shè)計(jì)緊湊
316L/316SS不銹鋼結(jié)構(gòu)
高精度達(dá)± 1％
液體流量計(jì)和控制器技術(shù)參數(shù)
流量范圍：P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來(lái)標(biāo)定的，
在測(cè)量其它液體介質(zhì)時(shí)需要乘以一個(gè)校正系數(shù)，具體請(qǐng)參考表一
響應(yīng)時(shí)間：P2000i系列 ： 2s（ 設(shè)定點(diǎn)的2％之內(nèi) ）
D2000i系列：＜1s（ 流量的5％之內(nèi) ）
精度和線性：± 1％滿量程（P2000i系列）；±1％讀數(shù)（D2000i系列）
重復(fù)性 ：P2000i系列：＜±0.2％滿量程（任意連續(xù)溫度下）
D2000i系列：＜±0.2％讀數(shù)
量程比：P2000i系列：50：1（2％-100％滿量程）
D2000i系列：20：1（5％-100％滿量程）
操作溫度 ：40℃（104℉）
操作壓力：125PSIG
溫度系數(shù) ：＜ 0.1％/℃
輸入/流量輸出信號(hào) ： 0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號(hào)時(shí)：需最小2KΩ電阻）
供電電源：﹢ 15VDC±10％（電流消耗＜200mADC時(shí)）
泄露率：1х10 -9 atm.cc/s He
預(yù)熱時(shí)間：10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）
電氣連接：9針D型
入口 /出口過(guò)程連接：1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥：壓電式常開(kāi)
內(nèi)置容積：＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）
重 量：≤ 0.68Kg
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體：316LSS
傳感器組件：316LSS
閥構(gòu)成部件：316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列）
“ O”型環(huán)：316LSS
