總體描述

為對(duì)任意樣品進(jìn)行高水準(zhǔn)的成像和分析而生
蔡司GeminiSEM 系列產(chǎn)品具有出色的探測(cè)效率，能夠輕松地實(shí)現(xiàn)亞納米分辨成像。無(wú)論是在高真空還是在可變壓力模式下，更高的表面細(xì)節(jié)信息靈敏度讓您在對(duì)任意樣品進(jìn)行成像和分析時(shí)都具備更佳的靈活性，為您在材料科學(xué)研究、生命科學(xué)研究、工業(yè)實(shí)驗(yàn)室或是顯微成像平臺(tái)中獲取各種類型樣品在微觀世界中清晰、真實(shí)的圖像，提供靈活、可靠的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡技術(shù)和方案。

技術(shù)參數(shù)：

Gemini 1 –成熟的Gemini技術(shù)概覽
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡具有更高的分辨率，離不開(kāi)其性能優(yōu)異的電子光學(xué)鏡筒。蔡司Gemini技術(shù)專為對(duì)任意樣品進(jìn)行高分辨成像設(shè)計(jì)，尤其在低電壓下保持完整和高效的探測(cè)系統(tǒng)、出色的分辨率和易用性等特點(diǎn)。
蔡司Gemini電子光學(xué)鏡筒具有以下三個(gè)主要特點(diǎn)
蔡司Gemini物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電場(chǎng)和磁場(chǎng)，在提高其電子光學(xué)性能的同時(shí)將它們對(duì)樣品的影響降至更低。無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì)，可以對(duì)如磁性材料等挑戰(zhàn)的樣品同樣地進(jìn)行高品質(zhì)成像；
蔡司Gemini電子束推進(jìn)器技術(shù)，讓電子束經(jīng)過(guò)加速后以高電壓通過(guò)鏡筒，最終再減速至設(shè)定電壓后進(jìn)入樣品倉(cāng)，很大程度地減小電子束的像差，保證了在非常低的加速電壓下仍可獲得小束斑和高信噪比；
蔡司Gemini 鏡筒的設(shè)計(jì)理念將Inlens二次電子（SE）和背散射電子（BSE）探測(cè)器均放置在鏡筒內(nèi)正光軸上，使兩者均具有更高的信號(hào)采集效率且可以同時(shí)成像，有效的縮短了獲取圖像的時(shí)間，更好地提高工作效率。
蔡司Gemini技術(shù)優(yōu)勢(shì)能為您提供以下便利：
經(jīng)校準(zhǔn)后的鏡筒具有長(zhǎng)期的穩(wěn)定性，您在日常使用時(shí)只需要簡(jiǎn)易地設(shè)定基本的參數(shù)，如加速電壓、探針電流等；
無(wú)漏磁的物鏡設(shè)計(jì)，可對(duì)包括磁性樣品在內(nèi)的各類型樣品進(jìn)行無(wú)畸變、高分辨率的成像；
Inlens二次電子探測(cè)器具有高效的SE 1信號(hào)采集效率，給您呈現(xiàn)來(lái)自樣品極表面的真實(shí)形貌圖像；
鏡筒內(nèi)能量過(guò)濾背散射探測(cè)器以其創(chuàng)新的設(shè)計(jì)理念，使您在低電壓下可獲得高分辨率、高襯度、以及更真實(shí)的樣品材料襯度圖像。

蔡司 GeminiSEM系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

高分辨，不挑樣

長(zhǎng)久以來(lái)，蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM一直是高分辨力與寬樣品適用性的代名詞。無(wú)論您從事的研究方向是什么，GeminiSEM都可以滿足您的需求。創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)和新型樣品腔室設(shè)計(jì)可讓您擁有更佳的圖像質(zhì)量、易用性和靈活性。蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM兼具出色的成像和分析能力，不依靠浸沒(méi)式物鏡依然可以輕松實(shí)現(xiàn)1 kV以下的亞納米級(jí)分辨力。以下內(nèi)容可以使您進(jìn)一步了解Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)的三大設(shè)計(jì)，探索蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM的應(yīng)用潛能。

1. 更靈活的成像工具 – 配備Gemini 1鏡筒的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360可以實(shí)現(xiàn)各種樣品的高分辨成像、分析和各種應(yīng)用需求的拓展。
2. 更強(qiáng)大的分析能力 - 配備Gemini 2鏡筒的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460可應(yīng)對(duì)更加復(fù)雜的分析工作。連續(xù)可調(diào)的大束流使您可以在成像和分析條件之間無(wú)縫切換。
3. 更的表征體驗(yàn) - 蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560配有Gemini 3鏡筒及其新型電子光學(xué)引擎，讓它在各種工作條件下均可發(fā)揮該系列的分辨率特性。

技術(shù)參數(shù)：

特點(diǎn)：

蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360

它是中心實(shí)驗(yàn)室的得力助手，在科研和工業(yè)領(lǐng)域中具有高通用性。

靈活的樣品適用性

• 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360是中心實(shí)驗(yàn)室的理想選擇，在科研和工業(yè)中具有非常高的通用性。
• 產(chǎn)品搭載Gemini 1鏡筒，在低電壓下依然具有高分辨成像能力，讓您輕松獲取樣品極表面高分辨信息。
• 通過(guò)鏡筒內(nèi)二次電子和背散射電子同時(shí)成像，即使對(duì)于電子束敏感樣品也可以獲取高分辨的表面形貌和成分襯度。
• 在低真空下（NanoVP）拍攝不導(dǎo)電樣品時(shí)，依然可以通過(guò)鏡筒內(nèi)Inlens探頭獲得優(yōu)異襯度：無(wú)荷電高分辨。

出色的用戶體驗(yàn)

• 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360可提供出色的用戶體驗(yàn)：該產(chǎn)品具有廣闊的視野范圍和大體積腔室，可以輕松檢測(cè)大尺寸樣品。
• 利用蔡司ZEN Connect軟件可在多種顯微鏡（例如光鏡、電鏡、X射線顯微鏡）之間進(jìn)行無(wú)縫導(dǎo)航。
• 使用蔡司的自動(dòng)對(duì)焦和智能探測(cè)器等自動(dòng)功能輕松采集清晰、銳利的圖像。
• 具有對(duì)稱的EDS端口和共面的EDS / EBSD幾何設(shè)計(jì)，可高效執(zhí)行成像和分析工作流程。
• 可有效延長(zhǎng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間，并讓您從容地進(jìn)行計(jì)劃內(nèi)維護(hù)。

優(yōu)異的功能擴(kuò)展性

• 可升級(jí)的系統(tǒng)可有效減少重復(fù)投資。因此，我們將場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360融入蔡司ZEN core軟件生態(tài)系統(tǒng)中。
• ZEN軟件生態(tài)系統(tǒng)包括：ZEN Connect可關(guān)聯(lián)多儀器、多尺度數(shù)據(jù)；ZEN Intellesis是基于AI的自動(dòng)分析工具； ZEN數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可以讓您在一個(gè)數(shù)據(jù)中心節(jié)點(diǎn)上管理不同儀器的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
• 可訪問(wèn)作為APEER社區(qū)成員的其他用戶創(chuàng)建的工作流和腳本，幫助您解決難題。
• .明確的升級(jí)路徑幫助您的設(shè)備更好地升級(jí)的功能。

蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460

具有更強(qiáng)大的分析能力，可進(jìn)行高效分析和自動(dòng)化的工作流程。

利用高分辨率和大束流

• 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460專為有挑戰(zhàn)性的分析任務(wù)而設(shè)計(jì)，可進(jìn)行高效分析和自動(dòng)的工作流程。
• Gemini 2鏡筒可快速執(zhí)行高分辨成像和大束流分析：從小束流-低電壓無(wú)縫切換到大束流-高電壓。
• 并行使用多個(gè)探測(cè)器，提供樣品的數(shù)據(jù)。
• 多接口腔室設(shè)計(jì)可兼容更多探測(cè)器，以進(jìn)行高效分析。
• 使用新的VP模式在大束流下采集EBSD譜圖可達(dá)4000點(diǎn)/秒的標(biāo)定率。
• 對(duì)于化學(xué)成分和晶體取向的分析，具有兩個(gè)對(duì)稱的EDS端口和共面的EDS/EBSD幾何學(xué)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)更快速度且無(wú)陰影的面分析結(jié)果。

定制化的自動(dòng)化工作流程

• 強(qiáng)大的分析功能與自動(dòng)化流程相結(jié)合，讓您的分析工作更進(jìn)一步。并且蔡司還可以通過(guò)Python腳本來(lái)定制您自己的自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)。
• 修改實(shí)驗(yàn)過(guò)程并根據(jù)您的要求定制結(jié)果輸出。
• STEM三維成像功能：將自動(dòng)傾斜和旋轉(zhuǎn)與蔡司的特征點(diǎn)跟蹤相結(jié)合。將所有自動(dòng)對(duì)齊的圖像發(fā)送到專有的3D重構(gòu)軟件后，生成具有納米級(jí)分辨率的3D形貌。
• 當(dāng)您需要測(cè)試材料的加工特性時(shí)，蔡司將為您提供自動(dòng)化的原位加熱和拉伸實(shí)驗(yàn)平臺(tái)：它可以讓您自動(dòng)觀察在加熱和拉伸條件下的材料，同時(shí)動(dòng)態(tài)繪制應(yīng)力-應(yīng)變曲線。

為您帶來(lái)更多可能性

• 基于Gemini 2鏡筒設(shè)計(jì)，即使在低電壓時(shí)，也可以通過(guò)調(diào)高束流密度來(lái)提高分析能力。
• 能夠使系統(tǒng)與各種配件相兼容。多功能型腔室不僅可以配置分析附件，還可以配置原位臺(tái)、冷凍傳輸系統(tǒng)和納米探針。
• .因此，您可以隨時(shí)對(duì)儀器進(jìn)行配置更改和升級(jí)。
• 所有GeminiSEM均已融入蔡司ZEN core生態(tài)系統(tǒng)，您可以利用ZEN Connect、ZEN Intellesis和ZEN分析模塊，以獲取報(bào)告和GxP工作流程。

蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560

更的表征體驗(yàn)，讓您輕松對(duì)困難樣品進(jìn)行1 kV以下的高分辨、無(wú)畸變成像。

表面成像的新標(biāo)準(zhǔn)

• 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560全面提升你的電鏡體驗(yàn)，即使在1kV以下也可以很輕松地對(duì)電子束敏感的樣品進(jìn)行無(wú)畸變高分辨的成像。
• Gemini 3鏡筒搭載Nano-twin物鏡和新型電子光學(xué)引擎Smart Autopilot，可在1 kV以下對(duì)樣品進(jìn)行1 nm以下分辨率的無(wú)漏磁成像-無(wú)需樣品臺(tái)偏壓或單色器。
• 通過(guò)新的可變氣壓模式和檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)不導(dǎo)電及氣壓敏感的樣品進(jìn)行成像：將真空敏感樣本通過(guò)低真空樣品交換室進(jìn)入電鏡腔室，可以維持樣品最本征的結(jié)構(gòu)后快速成像。
• 利用帶雙EDS接口的新型大型腔室，輕松分析復(fù)雜樣品。通過(guò)優(yōu)化的探測(cè)器幾何設(shè)計(jì)確?？焖?、無(wú)陰影的圖像。

融合專業(yè)知識(shí)

• 新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot可全面提升對(duì)高難度樣品的成像體驗(yàn)。
• 新系統(tǒng)的大視野功能可讓您輕松進(jìn)行樣品導(dǎo)航。
• Smart Autopilot可讓您節(jié)省時(shí)間，同時(shí)避免進(jìn)行復(fù)雜的的光路對(duì)中：該引擎可自動(dòng)調(diào)整光路，讓圖像從一倍放大至五十萬(wàn)倍時(shí)始終保持光路對(duì)中聚焦良好的狀態(tài)。
• Smart Autopilot包含蔡司的自動(dòng)對(duì)焦和自動(dòng)光路對(duì)中功能，可在幾秒內(nèi)為您提供清晰、銳利的圖像。
• Python腳本能夠在自動(dòng)化工作流程（例如3D STEM斷層成像）中集成軟件功能。

體驗(yàn)出色的襯度

• 樣品拍攝中的成像條件，意味著您結(jié)合了的參數(shù)組合來(lái)獲得的圖像：所以拍圖訣竅就是找到它。
• Gemini鏡筒技術(shù)及其無(wú)漏磁成像技術(shù)和全新的Gemini 3鏡筒可使您找到這些成像條件，并從樣品中發(fā)現(xiàn)新的信息。
• 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560可以輕松拍攝磁疇襯度，它在樣品上的磁場(chǎng)小于2 mT。
• 使用帶能量過(guò)濾器的Inlens背散射探測(cè)器進(jìn)行能量分辨背散射電子成像，同時(shí)通過(guò)環(huán)形背散射探測(cè)器進(jìn)行角分辨背散射電子成像。
• 通過(guò)ZEN Connect對(duì)所有數(shù)據(jù)進(jìn)行整合，輕松生成報(bào)告。