一、產(chǎn)品簡介
仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀,通過引進的氣體傳感技術(shù)和信號處理方法, 改變了半導(dǎo)體行業(yè)中的超高純氣體分析,專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中處于超痕量水平的雜質(zhì)氣體和烴類測量而設(shè)計。的NanoChrome采用由仕富梅特別開發(fā)的一種創(chuàng)新高靈敏度的等離子體發(fā)射探測器(PED)從而能夠提供超低檢測限度。已通過氬氣和氮氣的超痕量測量測試,擴展的測量波長使測量H2, CH4, CO 以及CO2以及直鏈烴的測量無需甲烷轉(zhuǎn)化器。由于無需可燃氣體,仕富梅PED傳感器增加了安全性,同時降低了運營成本。
二、產(chǎn)品特點
u BETTER THAN THE GETTER 的多組分超微量級氣體分析儀
u 適用于 Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC 的 PED 傳感器無需維護
u 無需燃料氣,從而提高了安全性
u 智能平臺,獨立軟件的單機系統(tǒng)
u 基于互聯(lián)網(wǎng)的遠程操控
u 內(nèi)置校準系統(tǒng)
u 與仕富梅公司的 Delta F 系列超高純氣體分析儀一道為客戶提供全面解決方案
三、產(chǎn)品規(guī)格
LDL:檢測限低達 300ppt(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)
量程:0-250ppb(用戶可以配置)
重量:11-27Kg (25-60lbs)(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)
校準:250ppb 標氣或在選裝內(nèi)部稀釋系統(tǒng)條件下使用5ppm標氣
功率消耗:400W-1200W
運載氣體:凈化的氦氣或氬氣
可重復(fù)性:檢測限讀數(shù)誤差為 ±2%,以較高者為準
樣氣流量:50-350ml/min(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)
樣氣壓力:30psig(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)
載氣流量:通常為 90-500ml/min(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)
載動壓力:建議為 100psig
檢測器類型:增強型等離子發(fā)射檢測器
燃料和空氣:任何情況下都不需要
流量穩(wěn)系統(tǒng):全部流量采用PID系統(tǒng)進行電子控制
尺寸 (WxDxH):底盤或從機箱,標準機架安裝式4U附件482 x 600 x 177mm (19 x 24 x 7")
四、圖片展示