CKY-Y8微型高頻響動(dòng)態(tài)壓力傳感器是采用微機(jī)械加工技術(shù)制作的集成硅膜片作為敏感元件，其有效尺寸小，而且硅具有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性，再加上采用了齊平封裝結(jié)構(gòu)，使得CKY-Y8高頻響壓力傳感器的動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)（可達(dá)到2000KHz），可獲得低至零頻、高至接近固有頻率的寬頻帶響應(yīng)，而且有低至微秒級(jí)的上升時(shí)間，綜合性能優(yōu)于壓電動(dòng)態(tài)壓力傳感器。
該系列傳感器適用于軍事工程、石油勘采與測(cè)井、材料、力學(xué)、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動(dòng)力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中，是動(dòng)態(tài)壓力波形測(cè)量的選擇。并且可按照用戶要求的形狀與尺寸定制。外形小巧、高輸出、高溫、優(yōu)異的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)特性以及的可靠性而顯示其特色。高頻響動(dòng)態(tài)壓力傳感器
外形尺寸大小可以根據(jù)客戶要求訂做
傳感器直徑Φ1.6mm到Φ12mm任選、高度10 mm到40mm任選
特點(diǎn)
l 采用的MEM技術(shù)
l 靜態(tài)和動(dòng)態(tài)頻響高
l 長(zhǎng)期穩(wěn)定性好
l 測(cè)量范圍寬
l 防水
技術(shù)參數(shù)
| 主要性能指標(biāo) | |||||||
| 動(dòng)態(tài)頻響 | 可達(dá)到2000KHz | ||||||
| 測(cè)量介質(zhì) | 各種液體或氣體 | ||||||
| 量 程 | 0..1KPa..3..5..10kpa..20..30..50..80..100KPpa..300..500kpa..1Mpa..3..6..10..20Mpa..30..40..60Mpa..200..400..600 Mpa ..1GPa..5GPa..20 GPa 任選量程 | ||||||
| 非線性 | 0.05%FS | 0.15%FS | 0.3%FS | 0.5%FS | |||
| 遲滯、 重復(fù)性 | 0.03%FS | 0.1%FS | 0.2%FS | 0.3%FS | |||
| 精 度 | 0.1%FS | 0.25%FS， | 0.5%FS | 1%FS | |||
| 過(guò)載壓力 | ≥200%FS | ||||||
| 輸入阻抗 | 0.8kΩ~6kΩ | ||||||
| 輸出阻抗 | 0.8kΩ~6kΩ | ||||||
| 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | 優(yōu)于0.2%FS/年 | ||||||
| 電氣特性 | |||||||
| 輸 出 | 80mV±20mV 、0～5V、1～5V、4～20mA A任選一種 | ||||||
| 零點(diǎn)輸出 | ≤±3mV | ||||||
| 供 電： | 1.5mA，5mA或9V，15V,24VDC 任選一種 | ||||||
| 電氣接口 | 自帶鎖緊結(jié)構(gòu)，或其它 | ||||||
| 絕緣電阻 | 500MΩ(50VDC) | ||||||
| 環(huán)境特性 | |||||||
| 零點(diǎn)溫度系數(shù) | 0.03%FS/℃(典型) | ||||||
| 靈敏度溫度系數(shù) | 0.03%FS/℃（典型） | ||||||
| 補(bǔ)償溫度范圍 | -10～70℃ | -40～50℃ | 0～125℃ | 0～200℃ | |||
| 存儲(chǔ)溫度范圍： | -40℃～125℃ -40℃～200℃ | ||||||
| 相對(duì)濕度 | %0～85% | ||||||
| 結(jié)構(gòu)性能 | |||||||
| 壓力接口 | M5,M5X0.75, M6X0.75 ,M8X1 ,M10X1 ,M12×1 ,M20×1.5等 | ||||||
| 重量 | 30g | ||||||
高頻響動(dòng)態(tài)壓力傳感器
注：
傳感器直徑3mm,4mm, 5mm,7mm,高度12mm, 15mm, 18mm, 30mm,各種尺寸均可定制
