型號 | QS-L2010Z/AFC | QS-L3017Z/AFC | QS-L4020Z/AFC | |
貨號 | 359-713-10 | 359-714-10 | 359-715-10 | |
驅(qū)動方式 | XY軸:手動 Z軸:電動 、自動對焦 | |||
測量范圍 | 200 × 100 × 150 mm | 300 × 170 × 150 mm | 400 ×200 × 150 mm | |
分辨力/測量單元 | 0.1 µm/線性編碼器 | |||
測量精度*1,*2 | XY軸 | (2.2+0.02L) µm | ||
Z軸 | (4.5+0.006L) µm | |||
精度保證溫度 | 20± 1 ℃ | |||
觀察裝置*3 | 7倍變焦(8級)物鏡可更換型(1倍物鏡0.5x-3.5x / 1.5倍物鏡0.75x-5.25x / 2倍物鏡 1.0x-7.0x) | |||
圖像傳感器 | 300萬像素,彩色CMOS相機 | |||
照明 | 透射照明 | 白色LED照明 | ||
反射照明 | 白色LED照明 | |||
環(huán)形照明 | 4象限環(huán)形燈 | |||
主體部分尺寸(W× D × H) | 624 ×711 ×729 mm | 692 ×857 ×837 mm | 757 ×867 ×837 mm | |
工作臺玻璃尺寸 | 250 × 150 mm | 370 ×240 mm | 450 ×240 mm | |
臺面承載質(zhì)量 | 10 kg | 20 kg | 15 kg | |
本體質(zhì)量 | 70 kg | 160 kg | 167 kg | |