顆粒計(jì)數(shù)器對(duì)于半導(dǎo)體、制藥和精密設(shè)備的清潔度管理。RION為各種目的提供粒子計(jì)數(shù)器,例如液體粒子計(jì)數(shù)器作為電子材料開發(fā)的基本設(shè)備,用于在制造半導(dǎo)體、顯示面板過程中保持高清潔度的液體粒子計(jì)數(shù)器。可檢測(cè)光阻產(chǎn)品、SOG 、有機(jī)溶劑、純水、藥液等產(chǎn)品中小至20nm的顆粒。在國(guó)內(nèi),而且在國(guó)際上,我們的產(chǎn)品得到了客戶的好評(píng)。
半導(dǎo)體制造過程中會(huì)用到各種化學(xué)品試劑和藥液,如硝酸、氫氟酸、清洗液和刻蝕液等,其顆粒濃度會(huì)影響芯片的良率。
RION的液體顆粒度儀采用光散射法原理,可滿足20nm-150um的粒徑測(cè)量需求。
日本RION理音液體顆粒計(jì)數(shù)器 KS-42AF二、技術(shù)規(guī)格
KS-19F 粒徑0.03-0.13um
KS-18F 粒徑0.05-0.2um
KS-42AF 粒徑 0.1-0.5um
KS-42BF 粒徑0.2-2um
KS-42C 粒徑0.5-20um
KS-42D 粒徑 2um-100um(可擴(kuò)展150um)
日本RION理音液體顆粒計(jì)數(shù)器 KS-42AF三、應(yīng)用
檢測(cè)制程中電子化學(xué)品,高純化學(xué)試劑,化學(xué)藥液和純水等顆粒數(shù)量。