介紹
檢測大尺寸樣品 – 擁有自動(dòng)聚焦系統(tǒng)且滿足超凈室等級要求
分析從最小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會對樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅(qū)動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至更佳聚焦位置。
特點(diǎn)
• 兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和 254mm 垂直深度的優(yōu)勢。
• Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。
• 借助自動(dòng)聚焦硬件，您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。
• Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應(yīng)用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
• Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。
超凈室
半導(dǎo)體制造與晶圓檢測需要在超凈室內(nèi)完成。根據(jù) DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應(yīng)用中，Axio Imager Vario 已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足超凈室等級 5 的要求。超凈室
ISO 5 等級相當(dāng)于原 FED STD 209E（1992）標(biāo)準(zhǔn)的 100 級。超凈室套件中包含一個(gè) 7 孔物鏡轉(zhuǎn)盤、一個(gè)顆粒保護(hù)罩及一個(gè)防噴嚏保護(hù)罩。
自動(dòng)聚焦硬件
集成有 Auto Focus 自動(dòng)聚焦硬件系統(tǒng)的 Axio Imager Vario 能夠在高達(dá)12000 µm 的焦點(diǎn)捕獲范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)的聚焦。在工業(yè)生產(chǎn)和研究的檢測應(yīng)用中，您需要一套聚焦精度能達(dá)到物鏡景深 0.3 倍的高精度聚焦系統(tǒng)。該自動(dòng)聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應(yīng)用。
