iPHEMOS-DD倒置微光顯微鏡是一款半導(dǎo)體失效分析系統(tǒng),通過檢測半導(dǎo)體裝置缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準(zhǔn)確定位半導(dǎo)體器件的失效位置。利用其*的倒置型設(shè)計,能夠便捷地進行樣品backside觀察與分析,將樣品直接連接到測試機上,再把測試機架裝到設(shè)備上方能夠有效減少線纜長度,這使得高頻驅(qū)動樣品的分析成為可能,這種直接架裝方式可用于點針偵測12英寸wafer,也可用來偵測封裝好的樣品。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu):
● 同時最多加裝兩臺高靈敏度相機,能夠同時完成光發(fā)射和熱發(fā)射偵測
● 設(shè)備可以加載多種激光
● 鏡頭切換轉(zhuǎn)塔最多可以加裝10種不同鏡頭
產(chǎn)品配置(可選配)
● 激光掃描系統(tǒng)
● 高靈敏度近紅外相機進行光發(fā)射分析
(根據(jù)客戶樣品特點對不同波長范圍的光發(fā)射探測可以選配不同型號相機,InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X)
● 高靈敏度中紅外Thermal相機進行熱分析
● 激光誘導(dǎo)阻值變化分析(OBIRCH)
● D-lock in
● Thermal Lock in
● EOP/EOFM
● Tilt Stage
● Nano Lens 進行高分辨率、高靈敏度分析
● Navigation功能
● 連接測試機進行動態(tài)分析
● Laser Marker